 lixiang
|
15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
ef3841f212
atm模式移除PM控压
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
5c995238da
1.修复kepler流气模拟器bug
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
пре 1 година |
 zhouhr
|
a5ba0d3c6b
add Process in PMChamber for SEOpertaion
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
376ce10782
增加LOG模块中特定eEvent id触发委托函数 && 移除UI中触发PMError && add SE TM Cycle throughput && fix vcedoor not show
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
|
пре 1 година |
 sangwq
|
c3bef13a6e
Enhance Auto pump/vent algorithm.
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
8fb1796c74
1.airsys chiller加入on/off状态
|
пре 1 година |
|
zhouhr
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
9e1de0e343
1.run recipe 参数bool改recipetype
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
f0c8f8caa5
解决pm界面不能run recipe bug
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
b4c441532d
Clean Recipe functions, include IdleClean/PreJobClean/WTWJobClean/PostJobClean.
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
baeae1636e
TM Robot PreRotation function for particle and throughput issues.
|
пре 2 година |
|
sangwq
|
09032ffa8c
implement throughput calculation function.
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
b5616b7378
解决冲突，合并代码
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
cb91599d02
修复recipe Ui信息显示
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
|
пре 2 година |
