 Intern01
|
b1f52bbe8a
Simulator PMC update
|
1 год назад |
 lixiang
|
f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
|
1 год назад |
|
lixiang
|
be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
|
1 год назад |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
1 год назад |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
1 год назад |
 sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
3222fa143a
Process module and Interlock .
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
847220c6ce
update for initial recipe design
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
3f9c41937a
update for event module enhancement
|
лет назад: 2 |
|
lixiang
|
782eafc783
1.添加log配置文件功能
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
9760d40cf7
port simulator
|
лет назад: 2 |
|
sangwq
|
53e362a33e
update
|
лет назад: 2 |
