 lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
 sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
847220c6ce
update for initial recipe design
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
