 lixiang
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edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
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1 年之前 |
 Intern01
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aaff066e93
EFEM Align UI RT 更新
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1 年之前 |
 sangwq
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3ee9634ad3
developing routing algorithm.
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1 年之前 |
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lixiang
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4ffafb6001
EFEM界面优化
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1 年之前 |
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lixiang
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0580ba292f
添加lp3
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1 年之前 |
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lixiang
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6d9d4bce31
efem界面添加loadport联动rt功能
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1 年之前 |
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lixiang
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2cc409c5f8
合并代码
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1 年之前 |
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sangwq
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9f239420d8
improve the efem code.
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1 年之前 |
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sangwq
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f5ee1dcbf1
fix loadport routine bugs.
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1 年之前 |
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lixiang
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85fc03f838
1.添加部分OpertionOverView ui功能
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1 年之前 |
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sangwq
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60d1bca02a
update cycle module, not finished.
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1 年之前 |
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lixiang
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179f80c29a
1.endpoint by wcf 添加修改配置文件界面
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1 年之前 |
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sangwq
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996ec07542
EPD BUG.
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1 年之前 |
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sangwq
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e8f7e93461
EPD
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1 年之前 |
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lixiang
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f3bd6b016b
添加部分efem功能
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1 年之前 |
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sangwq
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7b98756c26
兼容新旧 Endpoint, 未完成
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1 年之前 |
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sangwq
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aaf8372896
兼容 两种 endpoint, 未完成
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1 年之前 |
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lixiang
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a8582aeee2
修复配置文件不能修改bug
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1 年之前 |
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sangwq
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68c484e4c3
兼容去胶机使用的Endpoint.
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1 年之前 |
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lixiang
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1a9114214b
robot place 删除测试代码
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1 年之前 |
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lixiang
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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1 年之前 |
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sangwq
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f6ac5e975e
Siasun robot new line chars are "\r\n"
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1 年之前 |
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lixiang
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e63db2ef65
提交
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1 年之前 |
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lixiang
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93b4531b7b
robot 不能home问题提交
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1 年之前 |
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lixiang
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be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
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1 年之前 |
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sangwq
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d900c241bd
开发 AutoCycle 模块， 进行中
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1 年之前 |
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lixiang
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dbf06a2134
添加TM Operation界面
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1 年之前 |
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lixiang
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334e242cf0
修改wafer样式
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1 年之前 |
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lixiang
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a98fe05338
再次提交
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1 年之前 |
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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1 年之前 |
