 sangwq
|
a54944a308
PM TM Wafer Transfer Ready.
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
před 2 roky |
 lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
7a6556869f
1.整理主界面UI
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
6187ad5b4f
Interlock 优化
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
1f1fb71be3
1.2023/02/17现场rt代码修改
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
d22b60372f
Debug devices on tools
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
ffda76b488
修改rt与ui交互功能
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
b17ae64e6b
1.添加topview LOG显示功能
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
c4864f5546
debug gas verification.
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
60d08c1285
1.ui与rt联动功能添加
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
bad994820a
添加PM与部分loadlock与rt交互功能
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
888ad3ea20
revolve conflict.
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
a244b205b9
Gas Flow and RF Power routine.
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
ccb4444fa8
添加部分ui按钮控制rt功能
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
c3154ba629
wafer manager.
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
3222fa143a
Process module and Interlock .
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
847220c6ce
update for initial recipe design
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
630c7b7548
Wafer transfer routine done.
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
9760d40cf7
port simulator
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
53e362a33e
update
|
před 2 roky |
