Revīziju vēsture

Autors SHA1 Ziņojums Datums
  sangwq f211c4242f Efem module raw design. 1 gadu atpakaļ
  lixiang de406b964e 1.添加EFEM等ui界面 1 gadu atpakaļ
  lixiang 2d424f4cab 优化漏气检测算法,给TM界面添加 1.删除/添加wafer 2.PM/LL自动隐藏功能 2 gadi atpakaļ
  lixiang 280432bb82 1.TM传片动画制作,UI界面优化 2 gadi atpakaļ
  sangwq bf48d9b6c5 AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION 2 gadi atpakaļ
  sangwq 847220c6ce update for initial recipe design 2 gadi atpakaļ
  sangwq 8565810192 Servo Pressure and Gas Flow done. 2 gadi atpakaļ