 lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
11 hónapja%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
2d424f4cab
优化漏气检测算法，给TM界面添加 1.删除/添加wafer 2.PM/LL自动隐藏功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
 sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
