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  lixiang 9e14bbee6a 1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写 1 anno fa
  zhouhr a5542b5c2c add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule 1 anno fa
  sangwq ff17e9c447 develop autycylce/manualmove module. 1 anno fa
  sangwq 5b037046f9 Add TM/LL modules. 2 anni fa