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  lixiang 5c5936c32c 1.修复mfc verification单点ui不显示bug 1 anno fa
  lixiang 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 1 anno fa
  lixiang 68b4ba9640 1.添加mtorr与Pa切换功能 1 anno fa
  lixiang 33ba42d9ef 1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能 1 anno fa
  lixiang 4338503e2a 1.添加霍庭格RF Device 1 anno fa
  lixiang c0ff9f251e 1.添加kepler2200B 1 anno fa