 zhouhr
|
8cf03142ec
Add the PreClean,PostClean in SequenceInfo && Add DESequenceFormat.xml for Sequence && Add Venus DETM IO && fix VCEA pump Open in UI
|
před 11 měsíci |
 chenkui
|
774c804aa9
fixed pm event occurs carrierid is null
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
25f21eaf52
1、fixed PortWaferStart notify event parameter carrierId is null
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
cc41474996
1、add WaferStart sequenceId information
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
7dc2089ceb
1、add PortWaferStart/PortWaferEnd event sequence name parameter;
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
563a30f852
1、add recipe event notify;
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
2f30fa17c4
1、修复了Wafer_Left_Position上报数据；
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
8bb5f3f4f9
fixed loadport event notify;
|
před 1 rokem |
|
chenkui
|
44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
před 1 rokem |
 Intern01
|
60e9a04892
Simulator LP3 Update
|
před 1 rokem |
|
Intern01
|
c8473cb60c
1.增加Fa模块事件上报相关接口FaEvet，与recipejob,loadportjob事件上报接口
|
před 1 rokem |
