 lixiang
|
2cdc13a01b
1.Venus与Kepler 代码分开
|
4 månader sedan |
 zhouhr
|
b6309f712c
upload for Venus SE/DE
|
5 månader sedan |
|
lixiang
|
a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
|
6 månader sedan |
|
lixiang
|
7556c43a4c
1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复
|
7 månader sedan |
|
lixiang
|
a9d8e56970
1.扩展alarm list
|
7 månader sedan |
|
lixiang
|
65d80057c2
ui优化
|
9 månader sedan |
|
lixiang
|
99d939492e
1.加登出界面
|
9 månader sedan |
|
lixiang
|
ced69ea3b9
新版本Recioeview界面开发
|
9 månader sedan |
|
zhouhr
|
7a07ffa5ca
1. add SignalTower for Venus System by VenusSignalTower.xml
|
10 månader sedan |
|
zhouhr
|
4e783f1934
fix the bug in Pendulum Valve for FullRangePressure && fix the bug of Pump/Vent in VenusSE && add check before VCE move in z-axis
|
10 månader sedan |
|
lixiang
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
10 månader sedan |
|
lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
11 månader sedan |
|
lixiang
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
11 månader sedan |
 hecl
|
0f361d7301
1.Fix SETM robot ArmExtend bugs
|
11 månader sedan |
|
hecl
|
996eacc709
VenusDE recipe tolerance enhance
|
11 månader sedan |
|
lixiang
|
52e8bd8f7a
1.优化Home断开重连
|
1 år sedan |
|
hecl
|
9d28f8ee7d
1.Add Tru match
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
01dafac8f1
1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能
|
1 år sedan |
|
hecl
|
68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
1 år sedan |
|
hecl
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
0f905564d0
加入登录界面和权限管理
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
96661cadab
修复efem place ，tm同时有lp1与lp2 wafer时return wafer报错bug
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
1 år sedan |
|
zhouhr
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 år sedan |
