 lixiang
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031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
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hace 1 mes |
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lixiang
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f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
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hace 2 meses |
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lixiang
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10c22069fe
1.添加EFEM光栅报警开关
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hace 5 meses |
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lixiang
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a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
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hace 6 meses |
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lixiang
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7556c43a4c
1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复
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hace 6 meses |
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lixiang
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33d0cd73dd
1.修复Pump Counter 显示错误bug
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hace 8 meses |
 zhouhr
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3838ce8c36
1. Change the logic of Reset RF/Pump/CustomItem count
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hace 8 meses |
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zhouhr
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3aee4d6673
1. Add the function of StatsDataManager in UI,RT
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hace 8 meses |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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hace 9 meses |
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lixiang
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75dbbd4da8
添加KeplerSignaltower功能
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hace 11 meses |
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lixiang
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be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
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hace 1 año |
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lixiang
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7a6556869f
1.整理主界面UI
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hace 2 años |
 sangwq
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3f8df8cade
DEVICE UPDATE
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hace 2 años |
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sangwq
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2b930e56b9
Log output for exception.
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hace 2 años |
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sangwq
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630c7b7548
Wafer transfer routine done.
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hace 2 años |
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lixiang
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896c7407de
优化log功能
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hace 2 años |
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sangwq
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9760d40cf7
port simulator
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hace 2 años |
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sangwq
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3cad102221
更新 RT
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hace 2 años |
