 lixiang
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031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
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hai 2 meses |
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lixiang
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7556c43a4c
1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复
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hai 7 meses |
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lixiang
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e29f6e8e46
1.优化UI界面性能
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hai 8 meses |
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lixiang
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17c3d36a2b
Sequence 界面 PM REcipe 支持选择 Pre Clean/Post Clean/WTW Clean 和 Process Recipe
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hai 8 meses |
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lixiang
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33d0cd73dd
1.修复Pump Counter 显示错误bug
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hai 8 meses |
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lixiang
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b67769ec2c
ui优化
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hai 8 meses |
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lixiang
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65d80057c2
ui优化
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hai 9 meses |
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lixiang
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99d939492e
1.加登出界面
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hai 9 meses |
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lixiang
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401ccfc861
1.修复TM控压不稳bug，LL Vent未计时关闭原因
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hai 9 meses |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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hai 9 meses |
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lixiang
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2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
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lixiang
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e81e8a5c12
IoSensor和管路 优化
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hai 10 meses |
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lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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hai 10 meses |
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lixiang
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ed7c537c19
1.添加TM/LLA/LLB 平衡阀
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hai 11 meses |
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lixiang
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d33079596b
1.优化新版跑片动画
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hai 11 meses |
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lixiang
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8d613c7d1f
奈思UI 新版动画
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hai 11 meses |
 hecl
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f501000473
1.Fix Tru RF/match bugs
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hai 1 ano |
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hecl
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6c7190339c
Fix exception caused by OperationOverView,TMOperationView,TopView,TMView
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hai 1 ano |
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lixiang
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f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
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lixiang
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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hai 1 ano |
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lixiang
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e818b037a2
1.修复TM Swap 不能开门/状态比对不过bug
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hai 1 ano |
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lixiang
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b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
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hai 1 ano |
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lixiang
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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hai 1 ano |
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lixiang
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ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
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hai 1 ano |
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lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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hai 1 ano |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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08e85396fc
1.添加eventview分页功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
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hai 1 ano |
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lixiang
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cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
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hai 1 ano |
