 zhouhr
|
b6ab013e1b
fix some miss function in SE/DE Recipe && Improve VenusDispatcher
|
5 місяців тому |
|
zhouhr
|
b6309f712c
upload for Venus SE/DE
|
5 місяців тому |
 lixiang
|
17c3d36a2b
Sequence 界面 PM REcipe 支持选择 Pre Clean/Post Clean/WTW Clean 和 Process Recipe
|
8 місяців тому |
|
lixiang
|
1c2b8b53bb
1.添加用户权限功能
|
8 місяців тому |
|
zhouhr
|
3aee4d6673
1. Add the function of StatsDataManager in UI,RT
|
9 місяців тому |
|
lixiang
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
10 місяців тому |
|
lixiang
|
2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
|
10 місяців тому |
 hecl
|
0390869f30
1.Add recipe save as/rename function Messagebox and invalid recipename Messagebox
|
10 місяців тому |
|
lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
10 місяців тому |
|
lixiang
|
ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
|
11 місяців тому |
|
lixiang
|
5a4c70257b
1.Recipe 添加给eap recipe的内容
|
11 місяців тому |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
11 місяців тому |
|
lixiang
|
3e00375ce8
1.FDC代码逻辑移到PricessDefine
|
11 місяців тому |
|
lixiang
|
a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
5836f3ed1c
fix bugs in ShareDrive && add Online in SETM
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
c3c6427c4d
show names from Gas 9 to Gas 12 in recipe.
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
1 рік тому |
|
hecl
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
ef3841f212
atm模式移除PM控压
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 рік тому |
