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Author SHA1 Message Date
  lixiang ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData 1 year ago
  lixiang ef3841f212 atm模式移除PM控压 1 year ago
  lixiang bdec2c0d74 1.修改TM robot模拟器 1 year ago
  lixiang dbf06a2134 添加TM Operation界面 1 year ago
  lixiang a4b75ecb2e 1.每个Chamber做成可配,默认PMA Venus,PMB Kepler2300 1 year ago
  lixiang 3a078d515d 1.修复ui灯闪烁错误bug 1 year ago
  lixiang 7fe847dfd8 1.分开Venus/Kepler OverView界面,之前公用一个Overview界面 1 year ago
  lixiang d3c29df415 Venus修复传片bug 1 year ago
  lixiang de406b964e 1.添加EFEM等ui界面 1 year ago
  lixiang 280432bb82 1.TM传片动画制作,UI界面优化 1 year ago
  lixiang 62f1a16025 1.添加PartialPressure界面 2 years ago
  lixiang e867b47d0c 1.添加VAT VATPerformance和PartialPressure界面及数据对比图标 2 years ago
  lixiang b6c2517c51 1.添加加热功能 2 years ago
  lixiang 60d08c1285 1.ui与rt联动功能添加 2 years ago
  lixiang bad994820a 添加PM与部分loadlock与rt交互功能 2 years ago
  lixiang f3ae3aeca8 添加recipe添加修改界面 2 years ago