JetPlasma/Kepler-Release

Autor	SHA1 Mensagem	Data
sangwq	03063bae6a Enhance the routine framework.	2 anos atrás
lixiang	a4b75ecb2e 1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300	2 anos atrás
lixiang	de406b964e 1.添加EFEM等ui界面	2 anos atrás
sangwq	241a8a2f5d UPDATE 20230324	2 anos atrás
lixiang	b6c2517c51 1.添加加热功能	2 anos atrás
sangwq	847220c6ce update for initial recipe design	2 anos atrás
sangwq	8565810192 Servo Pressure and Gas Flow done.	2 anos atrás
sangwq	af96d139ff 2022年11月24日提交 RT 部分更改	2 anos atrás