 lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
1 vuosi sitten |
 sangwq
|
d89a4c81f9
Enhance Routing algorithm and simulator configure file path.
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
dbf06a2134
添加TM Operation界面
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
39fe214261
1.完善PartialPressure 功能
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
75710d35d8
RF Match.
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
ffda76b488
修改rt与ui交互功能
|
2 vuotta sitten |
|
lixiang
|
ccb4444fa8
添加部分ui按钮控制rt功能
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
630c7b7548
Wafer transfer routine done.
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
2 vuotta sitten |
