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JetPlasma
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Kepler-Release
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Commit History

作者 SHA1 備註 提交日期
  lixiang 10c22069fe 1.添加EFEM光栅报警开关 1 年之前
  lixiang 7556c43a4c 1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复 1 年之前
  lixiang a9d8e56970 1.扩展alarm list 1 年之前
  lixiang ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData 1 年之前
  lixiang c48ba3a928 添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新） 1 年之前
  lixiang a5813eb09d 1.修改chamber wafer样式 2 年之前
  sangwq 56cd0ab611 add framework 3 年之前