 lixiang
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1.修复mfc verification单点ui不显示bug
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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lixiang
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7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
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lixiang
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6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
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lixiang
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1.添加mtorr与Pa切换功能
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lixiang
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33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
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1.添加霍庭格RF Device
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lixiang
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1.添加kepler2200B
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