 lixiang
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e511d1f387
1.添加PM控压功能
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hai 1 ano |
 zhouhr
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187a5c453d
Kepler operation页面增加PMB、PMC、TM压力值和真空大气信号 去除MFVentRoutine结束后关闭N2valve
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hai 1 ano |
 sangwq
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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hai 1 ano |
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lixiang
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379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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e0817cb012
现场bug修改
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hai 1 ano |
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lixiang
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5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
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hai 1 ano |
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lixiang
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28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
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hai 1 ano |
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lixiang
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b96ac701fb
1.添加TM Simulator
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hai 1 ano |
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lixiang
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edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
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hai 1 ano |
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sangwq
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b8bd250b4e
TM/LL Pump/Vent/Purge done.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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241a8a2f5d
UPDATE 20230324
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
