Historie revizí

Autor SHA1 Zpráva Datum
  lixiang a4b75ecb2e 1.每个Chamber做成可配,默认PMA Venus,PMB Kepler2300 před 1 rokem
  lixiang 7fe847dfd8 1.分开Venus/Kepler OverView界面,之前公用一个Overview界面 před 1 rokem
  lixiang de406b964e 1.添加EFEM等ui界面 před 1 rokem
  lixiang b6c2517c51 1.添加加热功能 před 2 roky
  lixiang 7c817b8450 将钟摆阀最大值设到1000 před 2 roky
  sangwq 630c7b7548 Wafer transfer routine done. před 2 roky
  sangwq af96d139ff 2022年11月24日 提交 RT 部分更改 před 2 roky