Historial de Commits

Autor SHA1 Mensaje Fecha
  lixiang b67769ec2c ui优化 hace 9 meses
  lixiang 99d939492e 1.加登出界面 hace 10 meses
  lixiang 401ccfc861 1.修复TM控压不稳bug,LL Vent未计时关闭原因 hace 10 meses
  lixiang 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check hace 11 meses
  lixiang 9163903164 Kepler2200优化 hace 11 meses
  lixiang 552d60ca99 1.Stable与Tolerance 功能优化 hace 1 año
  hecl 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl hace 1 año
  lixiang 95f5be1ca4 1.修复iomfc writemode的合并冲突bug hace 1 año
  zhouhr 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. hace 1 año
  lixiang b2406d6f78 1.添加signalTonwer ui界面 hace 1 año
  lixiang 1929a3510b 1.新版ui界面开发 hace 1 año
  lixiang 7ff42d4eca 1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能,c1/c2小于offset不设置 hace 1 año
  lixiang 68b4ba9640 1.添加mtorr与Pa切换功能 hace 1 año
  lixiang 4338503e2a 1.添加霍庭格RF Device hace 1 año
  lixiang 818383115c UI优化 hace 1 año
  lixiang c0ff9f251e 1.添加kepler2200B hace 1 año
  sangwq d89a4c81f9 Enhance Routing algorithm and simulator configure file path. hace 1 año
  lixiang dbf06a2134 添加TM Operation界面 hace 1 año
  lixiang 39fe214261 1.完善PartialPressure 功能 hace 2 años
  lixiang b6c2517c51 1.添加加热功能 hace 2 años
  sangwq 75710d35d8 RF Match. hace 2 años
  lixiang ffda76b488 修改rt与ui交互功能 hace 2 años
  lixiang ccb4444fa8 添加部分ui按钮控制rt功能 hace 2 años
  sangwq 630c7b7548 Wafer transfer routine done. hace 2 años
  sangwq 8565810192 Servo Pressure and Gas Flow done. hace 2 años