 lixiang
|
ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
5a4c70257b
1.Recipe 添加给eap recipe的内容
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
3e00375ce8
1.FDC代码逻辑移到PricessDefine
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
|
hai 1 ano |
 zhouhr
|
5836f3ed1c
fix bugs in ShareDrive && add Online in SETM
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
hai 1 ano |
|
zhouhr
|
c3c6427c4d
show names from Gas 9 to Gas 12 in recipe.
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
hai 1 ano |
 hecl
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
ef3841f212
atm模式移除PM控压
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
c457973fa2
1.添加Revtech Match
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
f0c8f8caa5
解决pm界面不能run recipe bug
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
2895043c61
Recipe不显示bug修复
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
f53a5428e6
1.将rt向ui传递robot状态放在线程安全队列，避免数据包丢失
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
7c5d66a96d
右击wafer报错bug修复
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
62feaac5e7
1.优化跑片动画
|
hai 1 ano |
|
lixiang
|
0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
|
hai 1 ano |
