 lixiang
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
2d424f4cab
优化漏气检测算法，给TM界面添加 1.删除/添加wafer 2.PM/LL自动隐藏功能
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
 sangwq
|
847220c6ce
update for initial recipe design
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
