 lixiang
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631916b7de
优化跑片动画
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lixiang
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ad6fa7b5dc
1.添加chamber界面创建wafer，开关门功能
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 zhouhr
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883eb268eb
add TM Robot Home && delete PrefixPath of the selected recipe in sequence
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00d42e8c17
efem动画优化
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edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
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4ffafb6001
EFEM界面优化
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f3bd6b016b
添加部分efem功能
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
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3be4fea304
优化传片动画
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9231cab4b9
1.修改topView ui
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7419cea99a
添加TMCycle动画（部分）
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a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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2d424f4cab
优化漏气检测算法，给TM界面添加 1.删除/添加wafer 2.PM/LL自动隐藏功能
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280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
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a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
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39fe214261
1.完善PartialPressure 功能
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lixiang
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7299abbcd2
1.优化TM界面
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lixiang
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62f1a16025
1.添加PartialPressure界面
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b6c2517c51
1.添加加热功能
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