 lixiang
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e00ff4f30d
1.高温Heater position1-position5加上动画
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1 년 전 |
 hecl
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0a8ce7454b
Fix exception caused by SeTMView,SETMOperationView
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1 년 전 |
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hecl
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6c7190339c
Fix exception caused by OperationOverView,TMOperationView,TopView,TMView
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1 년 전 |
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lixiang
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7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
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1 년 전 |
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lixiang
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d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
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1 년 전 |
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lixiang
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6d84fd8e38
修复UI LP2/LP3不能工作 bug
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1 년 전 |
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lixiang
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d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
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1 년 전 |
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lixiang
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2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
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1 년 전 |
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lixiang
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b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
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1 년 전 |
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lixiang
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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1 년 전 |
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lixiang
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e2cd173579
1.添加Kepler2200 流气 Tolerance
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1 년 전 |
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lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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1 년 전 |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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1 년 전 |
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lixiang
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ed84923822
OverView界面Abort绑定System.IsBusy
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1 년 전 |
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lixiang
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5e8bf0ff14
1.重绘window窗体
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1 년 전 |
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lixiang
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038bcab52c
Operation界面添加PreCleanRecipe/PostCleanRecipe选择功能
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1 년 전 |
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lixiang
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cfed419b0a
解决ValueTuple版本冲突
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1 년 전 |
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lixiang
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5c995238da
1.修复kepler流气模拟器bug
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1 년 전 |
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lixiang
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c3f0679404
UI界面添加Pause/Resume功能
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1 년 전 |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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1 년 전 |
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lixiang
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818383115c
UI优化
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1 년 전 |
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lixiang
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e511d1f387
1.添加PM控压功能
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1 년 전 |
 zhouhr
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187a5c453d
Kepler operation页面增加PMB、PMC、TM压力值和真空大气信号 去除MFVentRoutine结束后关闭N2valve
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1 년 전 |
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lixiang
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
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1 년 전 |
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lixiang
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8fb1796c74
1.airsys chiller加入on/off状态
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1 년 전 |
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lixiang
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ab095ba2a8
修复钟摆阀状态错误bug
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1 년 전 |
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lixiang
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41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
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1 년 전 |
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lixiang
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ac251b02cc
1.主界面添加LLA/LLB ATM/VAV显示
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1 년 전 |
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lixiang
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96334720ac
优化跑片动画，解决robot去loadport露出wafer的问题
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1 년 전 |
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lixiang
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9da9c2f753
1.解决跑片动画错误的bug（暂时提高刷新速度解决问题，后续考虑加入线程安全队列解决此问题）
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1 년 전 |
