 lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 год назад |
 hecl
|
eb71335c9e
1.VenusDE UI Viewmodel update and fix pipelines switch bugs
|
1 год назад |
|
hecl
|
8e5ec35137
Add tansfer checkpage add fix bug about show step
|
1 год назад |
 Intern01
|
4d950d1f31
Fix some bugs about PM process data
|
1 год назад |
|
Intern01
|
9c618d6866
DataHistory&&ProcessDataHistory update
|
1 год назад |
|
Intern01
|
33f3e3a72e
1.complete parameters writing in pm routine
|
1 год назад |
|
Intern01
|
171eef8acc
Add to chart@@to slot switch page function
|
1 год назад |
|
lixiang
|
bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
|
1 год назад |
|
lixiang
|
6dd42b5fb0
添加process数据分析功能
|
1 год назад |
|
lixiang
|
d3c29df415
Venus修复传片bug
|
1 год назад |
|
Intern01
|
8a99234204
1.增加prcocessdatahistory 页面GridSplitter，excel导出等功能，增加FA界面
|
1 год назад |
|
Intern01
|
f61d947399
1.增加侧边参数选择与recipe选择下拉框
|
1 год назад |
|
Intern01
|
cd8d139b3e
1.添加PrecessHistory界面与读取process_data表批次信息对应数据值信息线性图展示功能
|
1 год назад |
|
lixiang
|
a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
|
1 год назад |
