Commit History

Автор SHA1 Съобщение Дата
  lixiang 10c22069fe 1.添加EFEM光栅报警开关 преди 1 година
  lixiang 7556c43a4c 1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复 преди 1 година
  lixiang a9d8e56970 1.扩展alarm list преди 1 година
  lixiang ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData преди 1 година
  lixiang c48ba3a928 添加初版kepler2200A Pick/Place功能(PLC点位未跟新) преди 2 години
  lixiang a5813eb09d 1.修改chamber wafer样式 преди 2 години
  sangwq 56cd0ab611 add framework преди 3 години