 chenkui
|
7dc2089ceb
1、add PortWaferStart/PortWaferEnd event sequence name parameter;
|
1 år sedan |
 lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
ef3841f212
atm模式移除PM控压
|
1 år sedan |
|
chenkui
|
c49311bc46
EventItem default construction parameter id is 1029;
|
1 år sedan |
|
chenkui
|
44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
|
1 år sedan |
 Intern01
|
23c59d3c86
1.完成FA模块的功能开发
|
1 år sedan |
|
Intern01
|
8a99234204
1.增加prcocessdatahistory 页面GridSplitter，excel导出等功能，增加FA界面
|
1 år sedan |
