 lixiang
|
5ce110574e
1，添加cooling功能
|
преди 10 месеца |
|
lixiang
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
преди 10 месеца |
|
lixiang
|
9163903164
Kepler2200优化
|
преди 11 месеца |
|
lixiang
|
464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
|
преди 11 месеца |
|
lixiang
|
34958e5963
swap 压差计算log测试
|
преди 11 месеца |
|
lixiang
|
d938a9e54c
PM/TM swap pick 开门前加压力wait
|
преди 11 месеца |
 sangwq
|
2826cd9348
Enhance the duplicated wafer function.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
2de3872723
duplicated wafer function.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
52349cad2b
Duplicated wafer functions.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
5c5936c32c
1.修复mfc verification单点ui不显示bug
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
95f5be1ca4
1.修复iomfc writemode的合并冲突bug
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
e818b037a2
1.修复TM Swap 不能开门/状态比对不过bug
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
236244c8a0
redesign wtw clean function and fix auto vent bug.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
2694bdc96c
Enhance the Pre-rotation function
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
baeae1636e
TM Robot PreRotation function for particle and throughput issues.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
8826cc0cd0
开发 AutoCycle 模块， 增加TMRobot module id.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
2663cfc1d9
Add place/pick delay.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
ed992dd631
Enhance the Log Info
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
b741650da1
TM Cycle ready.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
44ec74603f
TM Transfer
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
a54944a308
PM TM Wafer Transfer Ready.
|
преди 2 години |
