 sangwq
|
a05e9eaa1b
Loadlock/TM Robot slot In/Out Options.
|
преди 1 година |
 hecl
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
преди 1 година |
 lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
преди 1 година |
|
hecl
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
преди 1 година |
 chenkui
|
63d58afa42
1、SecsGem增加了UTF-8编码的支持；
|
преди 1 година |
|
chenkui
|
587ffe27b5
1、配置文件中增加了FA.Encoding
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
|
преди 1 година |
