 lixiang
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6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
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1 年之前 |
 hecl
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eb71335c9e
1.VenusDE UI Viewmodel update and fix pipelines switch bugs
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1 年之前 |
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hecl
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8e5ec35137
Add tansfer checkpage add fix bug about show step
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2 年之前 |
 Intern01
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4d950d1f31
Fix some bugs about PM process data
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2 年之前 |
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Intern01
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9c618d6866
DataHistory&&ProcessDataHistory update
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2 年之前 |
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Intern01
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33f3e3a72e
1.complete parameters writing in pm routine
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2 年之前 |
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Intern01
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171eef8acc
Add to chart@@to slot switch page function
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2 年之前 |
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lixiang
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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2 年之前 |
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lixiang
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6dd42b5fb0
添加process数据分析功能
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2 年之前 |
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lixiang
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d3c29df415
Venus修复传片bug
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2 年之前 |
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Intern01
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8a99234204
1.增加prcocessdatahistory 页面GridSplitter，excel导出等功能，增加FA界面
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Intern01
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f61d947399
1.增加侧边参数选择与recipe选择下拉框
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Intern01
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cd8d139b3e
1.添加PrecessHistory界面与读取process_data表批次信息对应数据值信息线性图展示功能
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lixiang
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a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
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