Historie revizí

Autor SHA1 Zpráva Datum
  lixiang de406b964e 1.添加EFEM等ui界面 před 2 roky
  lixiang b6c2517c51 1.添加加热功能 před 2 roky
  lixiang 7c817b8450 将钟摆阀最大值设到1000 před 2 roky
  sangwq 630c7b7548 Wafer transfer routine done. před 2 roky
  sangwq af96d139ff 2022年11月24日 提交 RT 部分更改 před 2 roky