 lixiang
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15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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ef3841f212
atm模式移除PM控压
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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5c995238da
1.修复kepler流气模拟器bug
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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vor 1 Jahr |
 zhouhr
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a5ba0d3c6b
add Process in PMChamber for SEOpertaion
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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e511d1f387
1.添加PM控压功能
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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376ce10782
增加LOG模块中特定eEvent id触发委托函数 && 移除UI中触发PMError && add SE TM Cycle throughput && fix vcedoor not show
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
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vor 1 Jahr |
 sangwq
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c3bef13a6e
Enhance Auto pump/vent algorithm.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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75314148f5
Added Auto Pump/vent option.
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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8fb1796c74
1.airsys chiller加入on/off状态
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vor 1 Jahr |
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zhouhr
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31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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9e1de0e343
1.run recipe 参数bool改recipetype
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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f0c8f8caa5
解决pm界面不能run recipe bug
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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b4c441532d
Clean Recipe functions, include IdleClean/PreJobClean/WTWJobClean/PostJobClean.
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vor 1 Jahr |
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sangwq
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baeae1636e
TM Robot PreRotation function for particle and throughput issues.
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sangwq
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09032ffa8c
implement throughput calculation function.
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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b5616b7378
解决冲突，合并代码
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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cb91599d02
修复recipe Ui信息显示
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
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vor 1 Jahr |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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lixiang
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a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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vor 1 Jahr |
