 lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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hai 1 ano |
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lixiang
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818383115c
UI优化
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hai 1 ano |
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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hai 1 ano |
 sangwq
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d89a4c81f9
Enhance Routing algorithm and simulator configure file path.
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hai 1 ano |
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lixiang
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dbf06a2134
添加TM Operation界面
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hai 1 ano |
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lixiang
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39fe214261
1.完善PartialPressure 功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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b6c2517c51
1.添加加热功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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75710d35d8
RF Match.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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ffda76b488
修改rt与ui交互功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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ccb4444fa8
添加部分ui按钮控制rt功能
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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630c7b7548
Wafer transfer routine done.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
