 lixiang
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ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
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hace 11 meses |
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lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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hace 1 año |
 sangwq
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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hace 1 año |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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hace 1 año |
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sangwq
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241a8a2f5d
UPDATE 20230324
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hace 2 años |
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sangwq
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096c873956
Sequence SPEC update.
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hace 2 años |
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sangwq
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e58407db65
Purge Counter.
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hace 2 años |
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sangwq
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847220c6ce
update for initial recipe design
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hace 2 años |
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sangwq
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8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
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hace 2 años |
