 zhouhr
|
a5ba0d3c6b
add Process in PMChamber for SEOpertaion
|
před 1 rokem |
 lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
dbf06a2134
添加TM Operation界面
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
2d424f4cab
优化漏气检测算法，给TM界面添加 1.删除/添加wafer 2.PM/LL自动隐藏功能
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
39fe214261
1.完善PartialPressure 功能
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
7299abbcd2
1.优化TM界面
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
před 2 roky |
