 lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
před 1 rokem |
 zhouhr
|
187a5c453d
Kepler operation页面增加PMB、PMC、TM压力值和真空大气信号 去除MFVentRoutine结束后关闭N2valve
|
před 1 rokem |
 sangwq
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
e0817cb012
现场bug修改
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
b96ac701fb
1.添加TM Simulator
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
b8bd250b4e
TM/LL Pump/Vent/Purge done.
|
před 2 roky |
|
sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
před 2 roky |
