| .. |
|
AXIS
|
0d497c6f55
PUF/Loader/Transport check all axis is homed then enter idle state
|
7 månader sedan |
|
BarcodeReader
|
f7533a737b
Initialize
|
10 månader sedan |
|
Dose
|
31c26804e6
add Festo Communication Protocol
|
10 månader sedan |
|
Dryer
|
6497945cbe
Revise jobcreate and lottrack bugs;
|
8 månader sedan |
|
EFEM
|
07fbbfc5ca
EFEM place routine add aligner wafersize and distance command
|
7 månader sedan |
|
Facilities
|
dce33ff7d5
revise reservoir/metal
|
8 månader sedan |
|
LinMot
|
76a2644a3d
update scheduler issue
|
8 månader sedan |
|
Loader
|
6bd8541e2b
Modify LoaderLotTrack; Modify Thornton simulator;
|
7 månader sedan |
|
Metal
|
75e260a8c2
revise metal pump on bug,revise reservoir ui
|
7 månader sedan |
|
PUF
|
0f6f0fbadc
update efem pick and place wafer size
|
8 månader sedan |
|
PowerSupplier
|
f7533a737b
Initialize
|
10 månader sedan |
|
Prewet
|
6497945cbe
Revise jobcreate and lottrack bugs;
|
8 månader sedan |
|
Reservoir
|
3a1e04c83d
add reservoir safety high monitor
|
7 månader sedan |
|
Resistivity
|
f7533a737b
Initialize
|
10 månader sedan |
|
Rinse
|
6497945cbe
Revise jobcreate and lottrack bugs;
|
8 månader sedan |
|
SRD
|
197aa5b250
Revise SRD chuckVacuum and liftup precondition;
|
7 månader sedan |
|
Safety
|
0f6f0fbadc
update efem pick and place wafer size
|
8 månader sedan |
|
SignalLight
|
e2d5bb5c5d
update galil controller inputs
|
8 månader sedan |
|
Temperature
|
dce33ff7d5
revise reservoir/metal
|
8 månader sedan |
|
TransPorter
|
4e761b030f
update async scheduler
|
8 månader sedan |
|
DataDefine.cs
|
f7533a737b
Initialize
|
10 månader sedan |
|
DeviceManager.cs
|
ed99981344
Revise SRD related Routines; Add SRD Galil simulator;
|
8 månader sedan |
|
FinsPlc.cs
|
f7533a737b
Initialize
|
10 månader sedan |
chenkui
0d497c6f55
PUF/Loader/Transport check all axis is homed then enter idle state