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设备号:{2}
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设备号:{2}
反馈值:{3} {4}
误差:{5}
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设备号:{2}
反馈值:{3} {4}
误差:{5}
{0}:{1}
设备号:{2}
反馈值:{3}
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设备号:{2}
输出功率:{3} w
反射功率:{4} w
设定值:{5} w
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设备号:{2}
输出功率:{3} w
电压:{4} w
电流:{5}
设定值:{6} w
{0}:{1}
设备号:{2}
反馈值:{3} {4}
误差:{5}
状态:{6}
{0}:{1}
设备号:{2}
工作模式:{3}
位置:{4}
压力:{5} mTorr
{0}:{1}
设备号:{2}
量程:{3} {4}
设定值:{5} {4}
反馈值:{6} {4}
误差:{7}%
状态:{8}
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