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    类型
    时间
    系统
    内容
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    选择全部
    清除选择
    默认选择
    数据
    颜色
    宽度
    显示左侧数据项     
    自动缩放
    名称:{0} 
 设备号:{1}
 默认值:{2}
 设定值:{3} 
 当前状态:{4}
    {0}:{1}
设备号:{2}
反馈值:{3} {4}
    {0}:{1}
设备号:{2}
量程:{3} {4}
设定值:{5} {4} 
反馈值:{6} {4}
误差:{7}%
状态:{8}
    {0}:{1}
设备号:{2}
反馈值:{3} {4}
    {0}:{1}
设备号:{2}
反馈值:{3} {4}
误差:{5}
    {0}:{1}
设备号:{2}
反馈值:{3} {4}
误差:{5}
    {0}:{1}
设备号:{2}
反馈值:{3}
    {0}:{1}
设备号:{2}
输出功率:{3} w
反射功率:{4} w 
设定值:{5}  w
    {0}:{1}
设备号:{2}
输出功率:{3} w
电压:{4} w 
电流:{5}  
设定值:{6}  w
    {0}:{1}
设备号:{2}
反馈值:{3} {4}
误差:{5} 
状态:{6} 
    {0}:{1}
设备号:{2}
工作模式:{3} 
位置:{4}  
压力:{5} mTorr
    {0}:{1}
设备号:{2}
量程:{3} {4}
设定值:{5} {4} 
反馈值:{6} {4}
误差:{7}%
状态:{8}
    打开阀门
    关闭阀门
    
    氮气吹扫
    冷却水