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  chenkui 07fbbfc5ca EFEM place routine add aligner wafersize and distance command 2 mesi fa
  chenzk 20ef460721 revise metal init wafersize check，revise efem pick/place srd routine 2 mesi fa
  chenkui 371876b350 add robot map routine 4 mesi fa
  chenkui 31c26804e6 add Festo Communication Protocol 5 mesi fa
  chenkui f7533a737b Initialize 5 mesi fa