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  chenkui fc844d450d update robot aligner vacuum hai 7 meses
  niuyx 7cd95698ba Add Robot Wafer display in OperationOverView and EfemView; Modify logs in VacuumLevelCheckRoutine; hai 8 meses
  chenkui 31c26804e6 add Festo Communication Protocol hai 9 meses
  chenkui f7533a737b Initialize hai 9 meses