 chenkui
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be3b324847
update EFEM UI;
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hace 1 mes |
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chenkui
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2a9a5325f5
modify error code
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hace 1 mes |
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chenkui
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0d497c6f55
PUF/Loader/Transport check all axis is homed then enter idle state
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hace 1 mes |
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chenkui
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4648c5a74f
update efem crossed/double wafer
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hace 3 meses |
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chenkui
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0f6f0fbadc
update efem pick and place wafer size
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hace 3 meses |
 niuyx
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27849ae532
Add Puf vaccum and chuck in/out in simulator; Modify FestoSimulator UI；
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hace 3 meses |
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chenkui
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0b293c8ffb
update puf axis
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hace 3 meses |
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chenkui
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05cd83ee92
Add Galil Axis
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hace 4 meses |
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chenkui
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31c26804e6
add Festo Communication Protocol
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hace 4 meses |
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chenkui
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f7533a737b
Initialize
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hace 5 meses |
