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- HF Furnace 系统更新历史记录
- 以0.0.0.4版本作为机台可用版本
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- 1:Job涉及的 command除了Recipe Command触发的不需要上报RecipeAbnormalEnd,其余均需要上报,且ProcessLog的状态也需要同步为RecipeAbnormalEnd
- 2:增加coolingStart/coolingEnd事件上报
- 3:提前上报RecipeComplete事件
- 4:FDC上报的SVId=22(ProcessRecipeName )去除数字和冒号字符
- 5:Copy recipe 弹窗无法修改描述问题修复
- 6:mfc delay ui和RT不同步问题修复
- 2025-10-31 version 0.0.0.11
- 1:mfc sv延迟下发功能
- 2:双击 Chart无需重置图表
- 3:Job涉及的 command都需要上报事件,alarmCondition额外上报RecipeAbnormalEnd事件
- 4:变更GemModel文件
- 5:自动补液添加checkTime,默认1s,支持配置
- 6:wtr/ftr routinue增加3次 check IsReady逻辑/与延迟时间配置
- 7:UI O2 checkLimitData根据不同阶段展示不同数据
- 8:boat R Axis boatrotatestop指令 Stop之后,Check IsMoving信号
- 9:预约Job,Tube状态按照正常Job状态进行
- 10:进出货冲突
- 2025-10-15 version 0.0.0.4
- 1:EAP 问题机台端验证通过
- 2:将FAB内配置项同步到Git仓库
- 3:优化去除Recipe Gas UI Step切换弹窗提示
- 4:bug 修复 Status=>Main界面 SubRecipe执行中,展示的subRecipeName是step名称
- 5:新增加热带 温度/功率 SVID及其逻辑
- 6:增加DryClearnCount SVID及其逻辑
- 7:recipeGasUI Step切換去除弹窗
- 8:Step/Recipe/Boat的累计膜厚 如果累计值<=0,直接归0处理,不存在负值的情况
- 9:StepName界面 save弹窗提示
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