12345678910111213141516171819202122232425262728293031323334353637383940414243444546474849505152535455565758596061626364656667686970717273747576777879808182838485868788899091929394959697989910010110210310410510610710810911011111211311411511611711811912012112212312412512612712812913013113213313413513613713813914014114214314414514614714814915015115215315415515615715815916016116216316416516616716816917017117217317417517617717817918018118218318418518618718818919019119219319419519619719819920020120220320420520620720820921021121221321421521621721821922022122222322422522622722822923023123223323423523623723823924024124224324424524624724824925025125225325425525625725825926026126226326426526626726826927027127227327427527627727827928028128228328428528628728828929029129229329429529629729829930030130230330430530630730830931031131231331431531631731831932032132232332432532632732832933033133233333433533633733833934034134234334434534634734834935035135235335435535635735835936036136236336436536636736836937037137237337437537637737837938038138238338438538638738838939039139239339439539639739839940040140240340440540640740840941041141241341441541641741841942042142242342442542642742842943043143243343443543643743843944044144244344444544644744844945045145245345445545645745845946046146246346446546646746846947047147247347447547647747847948048148248348448548648748848949049149249349449549649749849950050150250350450550650750850951051151251351451551651751851952052152252352452552652752852953053153253353453553653753853954054154254354454554654754854955055155255355455555655755855956056156256356456556656756856957057157257357457557657757857958058158258358458558658758858959059159259359459559659759859960060160260360460560660760860961061161261361461561661761861962062162262362462562662762862963063163263363463563663763863964064164264364464564664764864965065165265365465565665765865966066166266366466566666766866967067167267367467567667767867968068168268368468568668768868969069169269369469569669769869970070170270370470570670770870971071171271371471571671771871972072172272372472572672772872973073173273373473573673773873974074174274374474574674774874975075175275375475575675775875976076176276376476576676776876977077177277377477577677777877978078178278378478578678778878979079179279379479579679779879980080180280380480580680780880981081181281381481581681781881982082182282382482582682782882983083183283383483583683783883984084184284384484584684784884985085185285385485585685785885986086186286386486586686786886987087187287387487587687787887988088188288388488588688788888989089189289389489589689789889990090190290390490590690790890991091191291391491591691791891992092192292392492592692792892993093193293393493593693793893994094194294394494594694794894995095195295395495595695795895996096196296396496596696796896997097197297397497597697797897998098198298398498598698798898999099199299399499599699799899910001001100210031004100510061007100810091010101110121013101410151016101710181019102010211022102310241025102610271028102910301031103210331034103510361037103810391040104110421043104410451046104710481049105010511052105310541055105610571058105910601061106210631064106510661067106810691070107110721073107410751076107710781079108010811082108310841085108610871088108910901091109210931094109510961097109810991100110111021103110411051106110711081109111011111112111311141115111611171118111911201121112211231124112511261127112811291130113111321133113411351136113711381139114011411142114311441145114611471148114911501151115211531154115511561157115811591160116111621163116411651166116711681169117011711172117311741175117611771178117911801181118211831184118511861187118811891190119111921193119411951196119711981199120012011202120312041205120612071208120912101211121212131214121512161217121812191220122112221223122412251226122712281229123012311232123312341235123612371238123912401241124212431244124512461247124812491250125112521253125412551256125712581259126012611262126312641265126612671268126912701271127212731274127512761277127812791280128112821283128412851286128712881289129012911292129312941295129612971298129913001301130213031304130513061307130813091310131113121313131413151316131713181319132013211322132313241325 |
-
- ---------------------------------------------------------------------------------
- Furnace 系统更新历史记录
- ---------------------------------------------------------------------------------
- 2025-4-18 version 0.0.2.71
- 1.更新Heater异常问题
- 2.更新AV71显示控件
- 2025-4-17 version 0.0.2.70
- 1.添加Gasline1 Gasline2 Gasline3 Gasline4 Gasline6 PLC相关内容
- 2025-4-15 version 0.0.2.69
- 1.增加NTP02气路图
- 2025-2-10 version 0.0.2.68
- 1.增加wafer robot动作前的command写入和检查
- 2025-1-21 version 0.0.2.67
- 1.更新Stocker的command ao
- 2025-1-16 version 0.0.2.66
- 1.LP 取放agv 门打开后再发送判断,buffer先转动到位置再发送判断aiao
- 2025-1-12 version 0.0.2.65
- 1、bug168 文件夹里面的recipe,双击后会展开左右移动
- 2、bug169 sibcn不用显示出来gasline模块
- 3、bug51 wafer thick界面删掉
- 4、bug53 SiBCN:wafer mapping 界面删掉
- 5、bug51 SiBCN:aux status界面删掉
- 6、bug50 layout/job recipe的select recipe type删掉
- 7、bug49 process/sub/alarm/abort/reset/idle recipe,在选中一个recipe时候,new folder也能选,不应该置灰
- 8、bug57 visible,name包括后面框长度可以拉缩,要固定住
- 9、bug58 单词拼写,format
- 10、bug56 data charting删的时候报错
- 11、ELK中AUX界面点位显示
- 12、GasLine添加权限
- 13.增加FOUP robot动作前的command写入和检查
- 2024-11-4 version 0.0.2.64
- 1.DPO的状态显示灯根据点位D341.3显示
- 2.欧陆通讯增加inerval设定
- 3.Full Close 不执行问题解决
- 2024-11-1 version 0.0.2.63
- 1、bug37、选中框的范围扩大 已修改
- 2、bug42、Data charting需要添加Zoom in/out等控件 实时刷新数据,尝试加了会被刷掉 添加后发现无法使用
- 3、bug43、abort recipe只有10个table 已修改
- 4、bug44、carrier robot/wafer robot wafer/fims1/fims2/boat wafers没有carrier 也能create wafer 添加了FIMS1、FIMS2、CarrierRobot判断
- 5、气路图添加CREF和SICREF控制
- 6、阀门显示反馈真实的状态
- 7、SiBCN项目添加 LA_O2_Check_OT FIMS1_O2_Check_OT FIMS2_O2_Check_OT 报警
- 2024-10-30 version 0.0.2.62
- 1.增加modbusTCP通讯间隔的配置
- 2024-10-30 version 0.0.2.61
- 1.修改ELK _ioDefineGasLine 地址
- 2.修改ELK _ioDefineGasLine 更换类型后界面对应更改
- 2024-10-29 version 0.0.2.61
- 1.Elk Recipe气路图 MFC更改后改变颜色
- 2.问题50 两个job不能用同一盒里面相同的slot
- 3.更新stocker FOUP吹扫功能
- 4.SiBCN去除DI_PS13LStatus的报警
- 5、导出数据AV40~到AV51、53,55缺失
- 2024-10-28 version 0.0.2.60
- 1.模拟器添加 GASLine相关IO显示
- 2.RecipesCompare历史对比功能优化
- 2024-10-25 version 0.0.2.59
- 1.更新ELK_ioDefineGasLine IO
- 2.ELK 气路图更新操作BothPump操作
- 2024-10-25 version 0.0.2.58
- 1.ELK气路图按照心要求(71控件换成sibcn的)vac信号灯关联 pump更换控件
- 2024-10-24 version 0.0.2.57
- 1.elk gas pattern 关联一下BWR/DPR使能
- 2024-10-23 version 0.0.2.56
- 1.SiBCN项目 HTR1 HTR2 HTR3 DEPO 点位增加DO控制
- 2.问题50 两个job不能用同一盒里面相同的slot
- 3.ELK问题39 拼写错误,control,angle
- 4、把用过的绿色的wafer删除,再创建,transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色。修改
- 5、两个界面,删掉data history/charting group画框的功能,不需要
- 6、查看了manualset后 MFC Set值变化
- 2024-10-18 version 0.0.2.55
- 1.修改bug:config开启不discharge dummy wafer的配置,先跑job1结束discharge5片m,剩下dummy在boat上,预约了job2,执行job2正常放m位置5片dummy即可,但是执行job2提示不match
- 2.修改bug:第一个job执行结束dummy不discharge在boat上,在执行一个job空的layout执行不起来,job信息会自动为空
- 3.fims load/unload cycle结束多发了一次load使能,导致cycle结束处于load状态
- 4.Process history中wafer数量不对的问题
- 5、shutter的cycle功能
- 6、把用过的绿色的wafer删除,再创建,transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色。
- 2024-10-17 version 0.0.2.54
- 1.Bug 26、27、28、30按照新需求修改
- 2.Elk问题35 完成待验证
- 2024-10-16 version 0.0.2.53
- 1.修改仿真滚动条显示不全问题
- 2.Bug 26、27、28、29、30、32 完成
- 3.Elk问题35
- 2024-10-14 version 0.0.2.52
- 1.更新ELK中的Recipe编辑界面
- 2.去除D102.0的报警
- 2024-10-14 version 0.0.2.51
- 1.修改bug:foup robot提前pick一盒foup在手上,这个时候执行load动作会宕机
- 2.修改bug:foup robot提前pick一盒dummy,然后下job会造成死循环取放dummy
- 3.修改bug:第一个job执行结束dummy不discharge在boat上,在执行一个job空的layout执行不起来,job信息会自动为空
- 4.重启软件,heater设定为0的问题
- 5.更新ELK中的Recipe编辑界面
- 5.bug20下3个job,排序正常是按照123顺序排。
- 2024-10-12 version 0.0.2.50
- 1、Bug13从位置1移动到位置2,最后位置1的灯亮了,关联错了
- 2、Bug23把用过的绿色的wafer删除,再创建,transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色
- 3.Alarm clear不能够消除状态机的错误(boat fims)
- 2024-10-11 version 0.0.2.49
- 1.return wafer过程robot报错,切换offline操作alarm clear,会报出warning return wafer过程不可操作alarm clear导致不可continue
- 2.charge全ED,charge完成会报机械手home的warning的提示
- 2024-10-10 version 0.0.2.48
- 1、Bug6、aux status 光标定位某一行,蓝色只能短暂出现两秒,就没了
- 2、Bug11、点开selectM,如果1-25没选择任何一个,点击accept,然后foup图案处还是会置灰
- 3、Bug13、从位置1移动到位置2,最后位置1的灯亮了,关联错了
- 4、Bug19、支持触摸屏滚动layout recipe
- 5、调整ELK气路图
- 6、Bug22、temp 这个follow问题,把第一步设成furnace,然后点黄框那取消,第一步恢复heater了,但是后面步骤还是furnace
- 2024-10-9 version 0.0.2.47
- 1.调整ELK气路图
- 2024-10-9 version 0.0.2.46
- 1.更新ELK buffer到位信号的判断
- 2.调整ELK气路图
- 2024-10-8 version 0.0.2.45
- 1.修改SiBCN的DI地址偏移量
- 2.调整ELK气路图
- 2024-9-29 version 0.0.2.44
- 1.增加GasLineHeaterMemoryChange的data history
- 2024-9-27 version 0.0.2.43
- 1.charge 卡死问题
- 2. ELK 14 【新需求】sub recipe编辑的时候,控温模式默认成Furnace模式
- 3. ELK 16 lp1和lp2都存在
- loadport1 三个位置di对应DO应该是placement亮,实际上presence亮了
- loadport1 foup detect对应DO应该是presence亮,实际上没亮
- 4. ELK 18 控件在机台上不方便点击,点到选中框才能选中,把选中的范围加大
- 5. ELK 10 data history选定框范围放大,触摸屏不好操作
- 2024-9-26 version 0.0.2.42
- 1、recipe follow最后一步异常,已修改
- 2、Scheduler.CoolingRemainTime保存异常
- 2024-9-24 version 0.0.2.41
- 1.100【新需求】process recipe历史对比,如果只勾选一个recipe,点recipe compare,需求呈现是和最新的对比。【布局再修改下】
- 2、159、combination挂的sub recipe,点开没有光标定位,不确定具体是哪个sub recipe
- 3、recipe编辑打开pattern没反应UIlog异常
- 2024-9-23 version 0.0.2.40
- 1.更新ELK客户端气路图
- 2.Temperature中的 DCC和 OverHeat界面更新
- 3、跨天导出数据有空行
- 4、删掉下面箭头
- 5、di/do/ai/ao第一页点向下翻页箭头,43之后直接跳到55了,缺一列44-54没显示
- 6、wafer mapping 排序反了
- 17、job recipe,想copy到文件夹里,不生效也改了
- 2024-9-19 version 0.0.2.39
- 1.ELK问题 (4.D1240.15地址,我们定义写错了)
- 2.Recipe比较,可以比较含Table的recipe文件
- 3.支持触摸屏滚动,目前recipe Edit页面的Step采用的是截取分页,无法支持,其它要求的页面已修改
- 2024-9-19 version 0.0.2.38
- 1.recipe执行异常 修改recipe模板文件,增加DPR保存为ValveAV91 注老的recipe文件需要打开再保存下
- 2.增加膜厚统计之后,执行完多个job,dummy wafer有时不charge的问题
- 3.50 两个job不能用同一盒里面相同的slot
- 4.稷以ScheduledMaintenance页面更新
- 5.ELK问题(1.ELK附件AI D9350 新增了环形网络报警断掉节点号反馈)
- 2024-9-14 version 0.0.2.37
- 1.ELK 气路图更新
- 2.跑recipe,数据库不记录的问题
- 2024-9-12 version 0.0.2.36
- 1、Temp Correction和Temp PID导出数据部分
- 2、修改以前数据导出不了
- 3.更新AxisMon界面参数显示
- 4.ELK 气路图更新
- 2024-9-11 version 0.0.2.35
- 1.增加Heater Cascade Mode和Heater Mode SV的导出
- 2.增加Temp Correction和Temp PID的保存
- 3.CascadeControlModeSV和HeaterControlModeSV取消取整
- 4.rhc判断发0的逻辑
- 2024-9-10 version 0.0.2.34
- recipe Film THK数据保存
- recipe Correct 使用就的tableName
- 2024-9-9 version 0.0.2.33
- 124.PJOB需要添加cooling skip功能
- 128.boat E轴R轴 DI的move信号没有亮,做initialize会报boat在move状态
- 100.【新需求】process recipe历史对比,如果只勾选一个recipe,点recipe compare,需求呈现是和最新的对比。
- 149.连续两个step挂sub(DEMP1/DEMP2),执行DEMP2显示的次数还是DEMP1的293次,而不是1/5
- 1.ELK 气路图更新
- 2.注释AUX报警
- 已经存在的比较老的Parameter Edit,删除recipe不能点
- 2024-9-5 version 0.0.2.32
- 104、parameter-edit-alarm condition-edit file,打开error command,call alarm recipe和call abort recipe的table name1-3,能改name
- 144、保存编辑后的recipe,光标跑到最上面去了
- 117、上下限和时间不能设置负数
- 135、alarm condition,编辑AUX设定值为5,保存后再打开,显示还是0
- 136、alarm condition,编辑press,OPRS-14选择off,保存后再打开,显示还是on
- 143、当process recipe运行完了,结束时间就清掉了。实际上job recipe还在进行cooling,没有完全结束。
- 99、transfer循环次数配置没有生效,只能跑一次
- 2024-9-4 version 0.0.2.31
- 76、manualset,修改temp,loader,pressure的数据,然后点击cancel,没有恢复未修改前的数据
- 119、recipe界面,当没有选择某个recipe时,也就是没有具体的光标定位时,右侧画红框的deleate,edit,rename,copy,view,export,change,
- 120、recipe编辑,第二步,下方overwrite copy置灰了
- 126、Data history/Data charing里面参数排序不对
- 117、上下限和时间不能设置负数
- 143、当process recipe运行完了,结束时间就清掉了。实际上job recipe还在进行cooling,没有完全结束。
- 142、parameter-edit,Tempcorrection table name修改,保存打开显示还是默认的name
- 131、recipe,点击new folder和rename folder,弹出来的提示框有选择"folder"的文本框
- 130、已经存在的比较老的job recipe,删除recipe不能点
- 2024-9-3 version 0.0.2.30
- 49、recipe compare,切换step,step parameter还保存上一个step的数据
- 59、Moniter模式下看mfc是会变动的actual值,远程连接后mfc不会实时刷新
- 68、process recipe ,Command是zero set,ui不显示pid,导出文件有pid
- 27、io list按照模块分类
- 55、有一片wafer做过工艺的,foup就是绿色
- 2024-8-30 version 0.0.2.29
- 1.修改Gas Heater Sensor Break Out Alarm到地址D8400;Temp Limit Alarm到地址8402
- 2.去除D3.14和D102.0的报警
- 3.bug40 新建recipe后,光标没有定位到新建的recipe处,需要往后翻页
- 4、bug106 table控件在机台上不方便点击操作点到小点,才能选择某table
- 5、bug132 alarm condition右侧的滑动框,滑动一闪一闪的
- 6、bug24 Cjob start time显示的job start time
- 7.htr1+htr2+f2 cln用配方2 AO13360发 2,同时使用table2的Foline heater set值;判断htr1点亮AO13360发1,table1发Foline heater set值;判断htr1灭AO13360发0
- 2024-8-28 version 0.0.2.28
- 1.step挂alarm condition没执行完,结束时间为空
- 2.更新ELK气路图
- 3、bug68、recipe编辑,mult steps delete,弹出框里面有stand by和最后一步end,能删除stand by和最后一步end
- 4、bug116、recipe运行,把alarm condition设置jump挂到recipe,process状态下,点击download,要弹出提示框不能download
- 5、115, data log-data history,data charge的小三角框放大,不然在机台上不好选择
- 2024-8-27 version 0.0.2.27
- 46、aux set界面光标不会随着按键去切换
- 66、process recipe 导出Press.Command问题------ui格式是冒号,导出文件格式是点,有无问题。
- 69、recipe编辑,点击over write copy,弹出框里面有
- 70、recipe编辑,点击insert copy,弹出框里面有
- 115、data log-data history,data charge的小三角框放大,不然在机台上不好选择
- 2024-8-26 version 0.0.2.26
- 1.修改bug:16,28,41,46,59,66,70,78,91
- 2.Jump 到call sub下一步的step,会执行上一步的call sub的问题
- 2024-8-23 version 0.0.2.25
- 1.process log导出没有MFC13--16
- 2.导出step有缺失
- 2024-8-22 version 0.0.2.24
- 1.alarm condition增加每一个导航栏里面都要加delay time
- 2.列表框禁止拖拽
- 2024-8-22 version 0.0.2.23
- 1.FOUP机械手取放片报错之后,CarrierRobot delay 1 time to detect wafer log一致报的问题
- 2.不管什么时候点都清除错误给使能,不回原点
- 3.机械手的CycleMode改为TransferMode,CycleNumber改为TransferModeNumber
- 4.run to run cycle统计界面,做第二次不是从0开始统计而是累计
- 5.机械手alarm信号一直是亮的。alarm clear后不会在刷新出来这个错误报警,进行transfer都是正常的,应该判断这个信号亮,就要报错不能进行动作
- 6.load step下面设置rotate就报警的问题
- 7.MFC,Heater,Press报警增加delay检测时间,过了delay time才开始检查
- 8.wafer robot和FOUP robot reset不下发对应的reset do
- 9.bug序号51、 53
- 2024-8-20 version 0.0.2.22
- 78、manualset,gas的pattern,左下角按键,打开/关闭时有开关二次选择
- 79、recipe编辑,gas的pattern,左下角按键,打开/关闭时有开关二次选择
- 80、manualset/recipe编辑,gas的pattern,mfc输入数据,小数点后面位数没限制,逻辑是四舍五入保留了三位
- 82、点击release,没有弹出来确认提示框
- 85、manualset,gas的pattern,mfc修改数据,底色没变化(和recipe里面编辑的保持一致)
- 90、recipe follow,combination里的,比如修改第5步的,结果前面的几步也跟着改动了" (此处配置为整个recipe文件共用)
- 其它:DataGrid的全局样式修改都不能进行拖拽
- 1.更新alarm condition中MFC13--16的选项
- 2024-8-16 version 0.0.2.21
- 1.修改bug 43 recipe compare,删掉copy,undo和save功能
- 2.修改bug 47 软件不支持recipe history对比
- 3.修改bug 49 recipe compare界面功能模块操作空间太小,机台上容易点错
- 4.修改bug 54 process,select m界面打开,文本框推拽能交换位置
- 2024-8-15 version 0.0.2.20
- 1、sub Recipe,切换table,step数据有异常
- 2、alarm recipe空时创建recipe,不显示recipe文件
- 3、选择的wafer数量和layout对应不上的时候,报waring,job不开始
- 2024-8-12 version 0.0.2.19
- 1.discharge过程中,新建了load job,导致机械手不动的问题
- 2.Process step boat选择到Load位置,到位之后提前结束step
- 2024-8-9 version 0.0.2.18
- 1、manualset这里loader和pressure设置mode,没有标黄,导致我们每次set都会执行这里的模式。
- 2、manualset界面gaspattern在manual模式下编辑mfc为1,set后显示还是之前的3
- 3.新建sub recipe不能添加step
- 4.manualset界面manual模式下设定值不会显示,需要下发才显示
- 5.光标在新建文件下再次new folder,会默认创建一个子文件。需要改为new folder没有选择路径的情况,新建成主文件
- 6.先改了mfc/temp外面的数,然后点开detail,啥也没动,再点close,刚才修改的数就没生效
- 7.先改了aux的数,save保存后,aux变黄并且follow了。再打开刚才修改的,点close,刚才修改的数就没生效。
- 2024-8-8 version 0.0.2.17
- 1.更新LeakCheck的显示
- 2.29、先改了mfc/temp外面的数,然后点开detail,啥也没动,再点close,刚才修改的数就没生效
- 3.40、manualset的mode,heater模式右边空的
- 4.63、load两个及以上的p/SD/ED/M,不输入carrier id,是默认load的carrier id是相同的,所以导致报错
- 5.sub recipe的apc pid文件没有用Process recipe中Combination所选择的问题
- 6.ayout下4片m。stock两盒m,每盒用2片下job会出现这样的报警,创建3盒m在stock,选两盒下job就能跑起来
- 2024-8-7 version 0.0.2.16
- 1、recipe 编辑appendstep去掉IsSave状态,Name采用Name+No
- 2、GasPanel采用AITGasValve控件,修改显示判断条件
- 2024-8-6 version 0.0.2.15
- 1、Press.Command保存对应值,其它保存为0 其它类型补充
- 2、appendstep添加功能修改,采用拷贝当前步,增加拷贝委托,修改设置第一步和最后一步false
- 2024-8-5 version 0.0.2.14
- 1、manual显示我Set值上一次设置什么打开还能看到
- 2、Press.Command保存对应值,其它保存为0
- 3、选择slot wafer界面,容易出现误触。会造成我们选择三片因为误触选择了修改
- 2024-8-5 version 0.0.2.13
- 1、valve delay
- 2、编辑DP MBP
- 3、pump的按键可以follow
- 4、Valve闪烁
- 5、Job wafer选择
- 6、valve的delay time界面
- 7.更新跑recipe报索引值超出范围的问题
- 2024-7-28 version 0.0.2.09
- 1.buffer servo torque为0的问题
- 2.更新charge按照slot选择
- 3.buffer servo torque关联地址不对的问题
- 4.创建Proces job时,如果wafer的slot被前面的job选中,则报警提示,wafer不允许创建
- 5.PLC的di报警,解除的时候,自动复位
- 6.ManualSet页面,Heater设定了ramp之后,有问题
- 7.M wafer数量够,也报不够的问题
- 2024-7-23 version 0.0.2.06
- 1.增加wafer robot TP模式的warning
- 2.去除AV71开和DI_AV71ILK相关的报警
- 3.AV71显示开的逻辑,D9008的值不为5,就认为是开
- 4.Alarm Clear增加发送D1089.0和D1092.12
- 5.收到D115.4和D119.6报警之后,发RERR给机械手
- 6.增加temp pid,temp correct,APC PID,alarm condition的Download功能
- 2024-7-19 version 0.0.2.05
- 其它、设置ILK false闪烁
- 27、reset recipe新建recipe,ui不显示测试未还原问题,待确认
- 29、先改了mfc/temp外面的数,然后点开detail,啥也没动,目前只有一个改动标记,Close时默认不修改,所有还原之前修改,点击OK按钮
- 30、manualset界面,在gas pattern里设定mfc值,外面没有变色 已修改待确认
- 31、mfc detail序号问题
- 32、recipe,export后,excel表打开时间格式有问题
- 35、导出非空的sub/alarm/abort/idle/reset recipe,报错
- 36、点loader,没有提示框
- 2024-7-17 version 0.0.2.04
- 1.更新SiBCN的IO
- 2.D13360不下发数值
- Bug 序号和问题
- 9、mfc/aux的小数位数逻辑错误,没有限制只能输入三位小数
- 10、temp要限制输入小数点后一位
- 13、process/sub/alarm/abort/idle/reset recipe的AUX编辑,修改后标黄了,点了save之后,刚才修改的未生效,不能follow
- 19、manualset界面的gas pattern可以实施显示mfc的值,gaspatternUI的monitor不能实时显示mfc的值
- 25、edit recipe,最后description的内容填写了保存不上
- 2024-7-15 version 0.0.2.03
- 1.下LoadProcessUnload job,报 未处理的WCF操作异常 的问题
- 2.AUX的alarm higher和alarm lower写到对应ao
- 3.AUX status显示当前SV的反馈值
- 4.Heater的ramp rate,up rate和down rate需要同时赋值
- bug
- 8、step time 的step skip和step wait不能保存
- 19、除了job recipe,其他recipe修改保存 data time都没有更新
- 21、recipe编辑,gas的两个按键打开后,不点亮
- 24、修改recipe,description的内容保存不上
- 2024-7-11 version 0.0.2.02
- 1、Bug 1 recipe编辑gas pattern界面八个按键修改,gas标签不会变色的问题
- 2、Bug 3 gas pattern编辑mfc,外面的mfc不会变色,导致下面的step不会follow
- 3、Bug 10 点击change property job 信息全部清空了
- 4、Bug 11 recipe编辑gas pattern PREV next按键靠左机台硬件靠左不方便编辑
- 5、Bug 15 修改table2/table3的-table name应该是键盘是字母键盘
- 2024-7-10 version 0.0.2.01
- 1.增加FOUP机械手在TP模式的warning
- 2.更新AUX gaslineHeate的重命名。涉及到_sc.data需要更新
- 3.更新Gas Line Heater Memory Change D13360的设定
- 4.boat rotate保存异常
- 2024-7-8 version 0.0.2.00
- 1、MFC设置会误触Valve
- 2、recipe的step选择卡顿
- 3、recipe time格式修改
- 4、ProcessHistory选择空值异常
- 2024-7-8 version 0.0.1.99
- 1.去除AV60的开发warning
- 2024-7-8 version 0.0.1.98
- 1、RecipeGasPanel 控件修改位置
- 2、download upload加一下yes/no确定执行还是不执行,GridView去掉行选择光标
- 3、Sub recipe 的follow问题
- 4、MFC保存后 isSaved读取问题
- 5、Config增加AUX设置使能,并读取和写入到AO
- 6.Maintain->Boat页面,Rotation direction方向关联
- 7.HTR2去除关联49--52的地址
- 8.buffer status状态还是在move状态。需要改为点了stop状态变为idle
- 2024-7-3 version 0.0.1.96
- 1、manualset这个线歪了
- 2、manualset设定mfc点了cancel还可以保存
- 3、27往左移一点,没有居中
- 4、BWR、DPR、HTR1、HTR2、HTR3这些按钮follow
- 5、htr1的每个单独的加热带使能逻辑发1给去掉,只用发heater all enable
- 2024-7-1 version 0.0.1.95
- 1、valve follow 完善
- 2、MFC Canel 取消异常
- 3、MFC 单个设置
- 2024-6-28 version 0.0.1.94
- recipe编辑pattern界面几个htr1/2/3按键
- 2024-6-27 version 0.0.1.93
- 1.Maintain-》boat页面更新Shutter的开关和状态显示
- 2.gaspanel,和recipegsapanl修改valve控件大小,调整页面。
- 2024-6-24 version 0.0.1.92
- 1.step time显示1位小数
- 2.显示Total Time
- 3.HTR1按键使能地址更换
- 2024-6-20 version 0.0.1.91
- 1.更新SiBCN AV230
- 2.增加D8384和D8386的报警
- 3.alarm table不能follow
- 4.recipe mfc值修改不了
- 5.step time显示两位s
- 2024-6-19 version 0.0.1.90
- 1.更新Heater的SV
- 2024-6-18 version 0.0.1.89
- 1.N2Purge页面MFM57的设定问题
- 2.recipe step time最大设定59,目前可以设99需要优化
- 3.detail里面设定mfc,会变黄但是下面的step不会follow
- 4.外面mfc设定,detail不会显示set值
- 5.temp在 detail修改,外面temp不会显示变黄,下面step不会follow
- 2024-6-17 version 0.0.1.88
- 1.更新Heater的SV
- 2024-6-13 version 0.0.1.87
- 1.maintain-》Boat页面手动移动Position1,2更新
- 2.recipe name修改不支持光标定位
- 3.M按键不能弹出选择框 增加了字典判断和异常打印
- 4.AV41误触问题 增加光标强制(0,0)位置
- 5.增加AV 60的do
- 2024-6-12 version 0.0.1.86
- 1.recipe执行失败的原因更新
- 2.manual set页面更新温度的correct table
- 3.status页面压力根据AV75开关显示小数点切换
- 4.N2 purge页面MFC 51流量设定不了的问题
- 5.foup机械手swap功能改为transfer
- 6.maintain-》Boat页面改为Position1,2,3
- 2024-6-11 version 0.0.1.85
- 1.更新ELK IO
- 2.更新N2Purge页面AV65,AV66的显示
- 3.gasPanel点击误触AV41页面光标强制置0,避免误触
- 2024-6-6 version 0.0.1.84
- 1.回退boat 位置的修改
- 2.insert deletestep光标定位当前页
- 3.manual模式设定mfc值要保存
- 2024-6-5 version 0.0.1.83
- 1.htr按键判断开关逻辑,只要设定开就亮,不管使能有没有接收到.重启后保留重启前设定
- 2.GasPanel MFC数值不刷新问题
- 2024-6-4 version 0.0.1.82
- 1.161-200在PARAMETER的STEP NAME保存不了,导致recipe调用不了的问题
- 2.folder下recipe展示打开状态
- 3.folder路径去掉
- 2024-6-3 version 0.0.1.81
- 1.弹出recipe description name的全键盘编辑内容保留输入不清除
- 2、Recipe Edit的Step滚动条,选择内容不刷新
- 2024-5-31 version 0.0.1.80
- 1.recipe操作功能bug调整
- 2024-5-30 version 0.0.1.79
- 1.recipe Step进度条调整
- 2.sibcn气路图同步调整
- 3.data history查看支持拉宽
- 2024-5-29 version 0.0.1.78
- 1.增加加热带的数据订阅
- 2.增加伺服的alarm,warning报警
- 2024-5-28 version 0.0.1.77
- 1.Wait Time累计到hold time上 并返回展示/recipe结束仍展示 H问题
- 2.button/Radiobutton/TreeView /ListBox控件去除IsMouseOver属性
- 2024-5-27 version 0.0.1.76
- 1.显示W的时候,把Hold Timme的描述替换为Wait Time。同时Wait Time的计时器开始计时
- 2.机械手的alarm clear,只有在出错之后才发
- 3.菜单按钮光标调整
- 4.mfc显示保留小数点后三位
- 5.气路图 minitor状态 不会刷新ai值问题
- 2024-5-24 version 0.0.1.75
- 1.aux/waferRobot指令页面/recipe combination 弹窗点击2次问题
- 2.status->Transfer Main 页面 机械手需要点击2次关闭问题
- 2024-5-22 version 0.0.1.74
- 1.光标定位问题
- 2.process log 导出空行显示问题
- 2024-5-21 version 0.0.1.73
- 1.Main界面点击正在执行recipe光标要定位在当前执行的step上面
- 2.recipe编辑那一块黄颜色去掉/管道和阀调整
- 3.recipe编辑htr123改为点一下就开启,点一下就关闭
- 4.recipe操作 定位问题
- 2024-5-20 version 0.0.1.72
- 1.mfc仅 recipe编辑的recipe模式下 setpoint > 0 时 颜色展示
- 2.机械手 home的时候 启用速度设定
- 3.aux 配置调整
- 4.aux 设定光标问题
- 5.气路图调整
- 6.ManualSet MFC 颜色改变问题
- 7.recipe+ HTR1/2/3设定问题;htr3初始值问题
- 8.新建一个recipe AUX什么也不设置,执行recipe显示set为0
- 9.更新HTR1,2,3的recipe设定
- 2024-5-14 version 0.0.1.71
- 1.更新AUX的显示
- 2024-5-13 version 0.0.1.70
- 1.ManualSetViewModel模块的mfc set后再生效
- 2.手动模式下 添加aux Set 数据
- 3.process时设定aux
- 4.无法删除recipe问题
- 5.foup颜色逻辑优化
- 6.Elk io 4.0更新
- 2024-5-11 version 0.0.1.69
- 1.菜单栏UI/sibcn气路图UI/MFC UI调整
- 2.预设MFC值 实时展示
- 2024-5-10 version 0.0.1.68
- 1.预约job 第二个job开始的时候 tubeStatus展示process
- 2.添加position的 页面+上传/下载指令
- 3.颜色统一及其bug修改
- 4.添加RSTP/SABS指令 及其操作页面
- 5.Alarm condition 修改样式增加高度
- 6.参数分类细化
- 7.非Idle状态的P/M1/M2 foup 展示为绿色
- 2024-5-6 version 0.0.1.67
- 1.newRecipe/RenameRecipe 名称重复问题
- 2.recipe edit 下边按钮逻辑调整
- 3.runToRun次数展示
- 4.waferRobot 参数下发功能
- 5.颜色统一
- 6.Sibcn 管道图调整
- 7.waferRobot功能键添加弹窗确认/只有wt 位于idle状态下 可以进行功能操作
- 8.添加RunToRun 功能及其配置
- 9.优化ct展示效果
- 10.下job的时候检查process和layout是否存在
- 11.Sibcn和ELK 的ilk调整
- 12.涉及到mfc和阀的页面及其功能调整
- 13.config隐藏Step Name/Interlock Name/Name Parameter
- 14.recipe执行,报 索引超出范围。必须为非负值并小于集合大小
- 15.stocker wafers 类型不一致不允许创建问题 none可以任意创建
- 16.第一个job没有结束,过程中可以继续使用这个M/P foup前提是要满足下面的layout。job结束之后,M/P不能继续用
- 17.下拉条换成按钮
- 2024-4-24 version 0.0.1.66
- 1.Boat添加
- 2.AlarmEventDefine 文件添加对应类型配置
- 3.sibcn 0.3/0.4 version 更新
- 4.DEPO/F2/HF/按键及其信号灯 更新
- 5.Recipe 执行时 名称及其时间错误问题
- 7.process history导出附加sub recipe信息
- 8.ELk 0.1/0.2 version io 更新 文件添加对应类型配置
- 9.ui界面去除 ct的 Blade1 选项
- 10.recipe 操作按钮bug调整
- 11.boat优化
- 2024-4-17 version 0.0.1.65
- 1.调整recipe 比较页面
- 2.recipe中alarm condition选择慢
- 3.recipe step选择了leak check,step时间比leak check时间长的时候的问题
- 4.SiBCN气路图更新
- 5.更新alarm recipe的保存
- 2024-4-15 version 0.0.1.64
- 1.AlarmCondition编辑页面Copy时候数据不刷新
- 2.去除Alarmtable和Maintain-》GasPanel页面
- 3.两个cj,前一个end call sub执行时间很长,导致第二个job的wafer charge之后,第一个job 结束了不执行第二个job的process
- 4.sub recipe执行显示问题
- 2024-4-11 version 0.0.1.63
- 1.更新leak check alarm
- 2.process在wait的时候,点了abort还显示wait状态的问题
- 3.两个cj,前面一个cj end时间长,导致wafer Discharge结束end步骤还没执行完时,第二个job开始失败的问题
- 4.M2不会开始job的问题
- 5.SiBCN io更新
- 6.更新ELK io
- 7.正在wait捡漏,手动跳步到end。还在执行上一步的wait
- 2024-4-10 version 0.0.1.62
- 1.process recipe的command选择了leak check之后,关闭再点开不会显示原来的选择
- 2.parameter->Leak Check 编辑更新
- 3.Status->Pressure Leak Check 展示
- 4.Status->Temp 禁止输入
- 5.SIBCN管道更新
- 6.更新leak check功能
- 2024-4-3 version 0.0.1.61
- 1.A,B Batch,B是空的layout,会先cooling再开始process的问题
- 2.alarm condition 切换table慢的问题
- 3.process log导出优化
- 2024-3-30 version 0.0.1.60
- 1.new process recipe 自动生成end
- 2.没有material 进行B batch standby,有 material 等A batch discharge完,并切CJOB结束才开始进行B batch
- 3.工艺完成,M先Discharge结束回到stocker,可以先unload
- 2024-3-29 version 0.0.1.59
- 1.alarm condition增加table拷贝功能
- 2.添加process list导出
- 3.Parameter->Parameter页面,只保留StepName和TempSetting,删除不需要的设定
- 4.主recipe执行完倒数第二步,就认为recipe执行结束,可以开始cooling,同时tube做最后一步的step
- 5.生成exe,原来的首选项是生成32位的,去除这个勾选
- 2024-3-27 version 0.0.1.58
- 1.Process log导出优化,增加最大行数的配置项
- 2.ELK气路图更新
- 2024-3-26 version 0.0.1.57
- 1.aux 序号>=68的要求不报警
- 2.NTP气路图更新
- 3.更新Dummy不需要discharge的配置
- 2024-3-25 version 0.0.1.56
- 1.interlock根据excel要求,满足时间才报警
- 2.更新alarm condition中的Interlock相关报警
- 3.更新ELK IO
- 4.jump step之后,还需要能够call sub
- 2024-3-23 version 0.0.1.55
- 1.alarm condition MFC不报警的问题
- 2024-3-22 version 0.0.1.54
- 1.recipe页面滚动条样式
- 2.recipe选择alarm condition打开慢
- 3.discharge时foup机械手取到foup会停一会才放
- 2024-3-21 version 0.0.1.53
- 1.机械手出错之后,home报is in Resetting state,can not do StartHome 的问题
- 2.AUX在空闲的时候也需要报警
- 3.小键盘更新
- 4.更新ELK IO
- 2024-3-20 version 0.0.1.52
- 1.广川机械手home,软件报超时的问题
- 2.小键盘弹出的问题
- 2024-3-19 version 0.0.1.51
- 1.ELK IO点位更新
- 2.manualSet Pressure设定值不展示问题
- 3.recipe append 不显示temp名称问题
- 4.unload monitor foup报错的问题
- 5.重复的alarm自动更新最新的时间
- 6.valve开关,interlock不满足只报警,不复位
- 7.status页面AV71状态绑定还原回原来的
- 8.return wafer,取5片的逻辑更新
- 9.recipe编辑gaspattern提示空对象,进行判断
- 10.小键盘去掉鼠标点击事件
- 2024-3-18 version 0.0.1.50
- 1.ProfileTemp无法设置负值,默认范围 Min="0" Max="700",目前修改为 Min="-999.9" Max="999.9"
- 2.ProfileTCCalib无法设置,属性缺了UpdateSourceTrigger=PropertyChanged
- 3.RecipeCommand step loop数量无法设置LoopCount绑定设置添加Mode=TwoWay, UpdateSourceTrigger=PropertyChanged
- 2024-3-16 version 0.0.1.49
- 1.jump 不了后面执行过的step,只能jump前面没有执行的step
- 2.更新小键盘样式
- 3.更新Process history中APC sensor1,sensor2名称,增加VG11,VG12导出
- 2024-3-15 version 0.0.1.48
- 1.软键盘输入优化
- 2.加热带table预设功能
- 3.AUX修改了不需要重启
- 4.AUX的F2 cln,HF cln软件重启之后,保持和关机前状态一致
- 5.temp CU和CL显示一样的问题
- 2024-3-14 version 0.0.1.47
- 1.Sub recipe为空问题
- 2.小键盘弹出问题
- 3.TempCorrection recipe模式下不可save问题
- 4.alarm 添加clearAll
- 5.heater 页面cu跟cl的actual值一样
- 2024-3-13 version 0.0.1.46
- 1.Process log导出问题
- 2.alarm condition jump step的问题
- 3.执行完recipe,APC的PID表选择信息能够保存
- 4.alarm condition中,AUX名称的显示要根据config
- 5.alarm condition调用reset,alarm,abort等之后,在status页面点recipe浏览弹窗报错
- 6.temp correct选择的文件不存在引起的报错
- 7.小键盘弹出问题
- 8.执行sub recipe报错问题
- 2024-3-12 version 0.0.1.45
- 1.增加aux和apc的alarm condition判断
- 2.AUX设定修改不了的问题
- 3.Recipe alarm select 回显问题
- 4.AUX AO问题
- 2024-3-11 version 0.0.1.44
- 1.clear alarm log导致RT断掉
- 2.AV71开阀逻辑不符
- 3.Config中,System-》recipe节点下,几个默认recipe的选择,改了之后只有重启软件才能更新
- 4.alarm condition增加MFC项
- 5.alarm condition,只有设定时间大于0才会监控
- 2024-3-8 version 0.0.1.43
- 1.auto transfer过程能下发manual指令
- 2.boat move 没有alarm提示----R轴旋转不需要检查;Start函数中的检查条件需要去除shutter open的检查
- 3.alarm condition的call abort,alarm recipe的问题
- 4.recipe比较速度慢的问题
- 2024-3-7 version 0.0.1.42
- 1.alarm condition的设定时间等不能保存的问题
- 2.alarm condition的执行问题
- 3.step name编辑,弹出键盘反应慢的问题
- 2024-3-6 version 0.0.1.41
- 1.Change Property问题调整
- 2.boat move 移动前先检查条件是否满足
- 3.ManualSet中Correct 设置了default 文件仍然弹窗提示问题
- 4.数字键盘/全键盘弹出问题
- 5.alarm condition设置时间为0不跳到end的问题
- 2024-3-6 version 0.0.1.40
- 1.recipe 新增最近十次修改历史查看功能
- 2.ManualSet中Correct 设置了default 文件仍然弹窗提示问题
- 3.Recipe Except 导出内容不正确问题
- 4.Boat Move alarm 问题调整
- 5.光标定位问题
- 6.alarm show不合理问题
- 7.增加alarm Condition的执行log
- 2024-3-5 version 0.0.1.39
- 1.Alarm Condition 文本框上下限问题;Error弹窗错误问题;
- 2.ManualSetViewModel页面Mode/Correct/PID的save按钮手动模式下可点击
- 3.Process log导出去除没有的点位:ValveAV62; BWR,DPR导出的名称更新
- 4.temp set功能改善
- 5.loadport类型不能支持配置
- 6.数据框点击有效范围较小
- 7.Gas 的MFC 数字键盘弹出不对问题
- 2024-3-3 version 0.0.1.38
- 1.增加APC mode ao的数据订阅
- 2024-3-2 version 0.0.1.37
- 1.更新heater的alarm condition
- 2024-3-1 version 0.0.1.36
- 1.手动情况下,AV71 open,APC可以设定角度,压力,slow vac等其他模式;AV71 close,则apc close
- 2.更新alarm condition中error command选择不能保存的问题
- 2024-2-29 version 0.0.1.35
- 1.更新alarm condition保存文件的拼写错误
- 2.APC PID的table name输入不了字母的问题
- 3.更新机械手RSTS的指令,wafer robot和foup robot不一样
- 2024-2-28 version 0.0.1.34
- 1.修改bug 17,34
- 2.更新机械手RSTS的指令
- 2024-2-27 version 0.0.1.33
- 1.增加D328.0---328.15的数据订阅
- 2.Bug序号33:manual操作av71阀关闭,对应press也要发full close mode
- 3.Bug序号28:有关pump的DP和MBP地址公用一个地址,DP打开发D1084.1,MBP也跟着DP显示亮。关DPD103.7,MBP跟着关(MBP不可控制)
- 4.气路图Monitor时,下面一排按键也不能点
- 5.调整APCPID /LeakCheckCondition/TempProfile 文本框MAX
- 6.manual set-》gas panel,pump等几个按键的设定问题
- 2024-2-23 version 0.0.1.32
- 1:问题50:编辑Temp PID table/Temp AutoPID table输入值大于10,就会导致输入不了
- 2.设定fims2为offline,fims1的online&offline按键都会变灰.
- 3.FIMS的online、offline重启软件保留上一次设定的状态
- 4.Maunal set-》gas panel页面设定问题
- 5.PM的状态机从原来的5ms---》改为1ms
- 2024-2-21 version 0.0.1.31
- 1.abort不了robot状态的问题
- 2.AV91联动DI点位 (仅限仿真)
- 3.第二个wait的job,start time改为显示“”------“”
- 2024-2-19 version 0.0.1.30
- 1.Valve 60,74,77的状态改为绑定D341.0,D341.1,D341.2
- 2.Job Recipe重命名文件丢失问题
- 3.WaitingMaterial最小值展示问题
- 4.Recipe编辑中temperature选择table按键切换失效问题
- 5.Recipe增加RHC的控制
- 2024-2-18 version 0.0.1.29
- 1.选empty layout时,在discharge的时候会卡住的问题
- 2.Cjob abort只能abort当前的job,无法对后面预约的job进行操作的问题
- 3.Parameter-》TempSetting增加AllZone的设定
- 2024-2-7 version 0.0.1.28
- 1.增加job预下功能
- 2.recipe中温度增加table设定
- 2024-2-6 version 0.0.1.27
- 1.PM状态机的时间间隔改为5ms,原来是50ms
- 2.写PLC的AO块的长度改为450,原来是100
- 2024-2-5 version 0.0.1.26
- 1.有关pump的DP和MBP地址公用一个地址,DP打开发D1084.1,MBP也跟着DP显示亮。关DPD103.7,MBP跟着关(MBP不可控制)
- 2.AUX三个table逻辑只写了一个,需要添加两个虚拟按键F2 cln HF cln
- 3.gas panel DPR按键不对的问题
- 4.Process Log导出项的名称更新,改为和显示一致
- 2024-2-4 version 0.0.1.25
- 1.优化recipe step的执行时间
- 2.仿真机械手报stop状态的问题
- 2024-2-3 version 0.0.1.24
- 1.AV60,74,77加上边框以示区别
- 2.Process Log页面导出功能修改
- 3.更新仿真
- 2024-2-2 version 0.0.1.23
- 1.Parameter-》step name编辑页面卡顿优化
- 2.manualSet点开Pattern之后,阀门和流量计的设定完成,切换为manualSet页面,点Set需要一次性写到RT
- 3.Carrier Robot的pick,place的超时按照config设定
- 4.更新仿真
- 2024-2-1 version 0.0.1.22
- 1.Process Log中的Heater working output改为Power output
- 2.优化Process Log-》Process Detail页面选择数据卡顿的问题
- 3.Recipe LOOP的count,设定几次就显示几次
- 4.Mini8的设定值,只有变化了才写
- 2024-1-30 version 0.0.1.21
- 1.更新Mini8 Ao的写
- 2024-1-29 version 0.0.1.20
- 1.Recipe编辑去除MFC51
- 2.切换别的recipe,也显示主recipe的问题
- 3.更新AO写的问题
- 4.更新process log导出问题
- 5.Boat elevator,只有D5660=D10110,才会发D1142.0的脉冲
- 6.recipe执行过程有alarm,只是抛出,不影响工艺
- 7.Maintain->Boat 页面去除elevator的servo on/off按键,删除rotate的速度设定和显示
- 2024-1-28 version 0.0.1.19
- 1.Process Log导出问题修改
- 2.PLC的AO、DO写优化:原来是每个点上位机修改了才写到PLC=》改为按照块,一直写AO、DO,不管上位机有没有修改(注意此项修改,需要PLC那边确认是否会影响)
- 3.优化recipe执行的时间:原来仿真200ms写完step所有参数=》优化后5ms内执行完step所有参数
- 4.优化RT线程数量,去除不必要的线程
- 5.GasPanel DPR和BWR按键显示问题
- 6.Boat增加from to创建和delete wafer
- 7.更新IO版本45,46
- 8.修改Modbus TCP通讯的报错
- 9.Mini8 AO、DO写优化:原来是每个点上位机修改了才写到Mini8=》改为按照块,一直写AO、DO,不管上位机有没有修改(注意此项修改,需要测试下设定温度和enable是否正常)
- 2024-1-26 version 0.0.1.18
- 1.机械手报警之后,通讯log不打的问题
- 2.Process Log的Pressure增加VG13,VG21,VG22
- 3.AV71阀门开关的warning提示问题
- 4.Process log导出数据异常的问题
- 5.阀门开关显示字体更新
- 6.机械手home的时候,不用发reset error
- 2024-1-24 version 0.0.1.17
- 1.aux保留小数调整
- 2.Log下拉框调整为Alarm
- 3.temperature correct file is empty不报warning
- 4.BWR,DPR,HTR1,HTR2按键功能bug修改
- 2024-1-23 version 0.0.1.16
- 1.广川机械手CSTP指令改为不发送,由机械手自行终止
- 2.广川CCLR改为INIT,1,1,N
- 3.广川出错之后查询错误码,显示出来
- 4.Top View的log下拉框只显示warning和alarm
- 5.data history和data charting页面打开慢的问题
- 2024-1-19 version 0.0.1.15
- 1.recipe读取速度继续优化
- 2.更新Process log
- 3.Jump step选择的是call sub的main step时,结束sub,直接执行main step
- 2024-1-17 version 0.0.1.14
- 1.Wait press,不把Slow vacuum rate清零
- 2.Manual Set页面,save按键点不了的问题
- 3.Status-》main,点击recipe,recipe打开慢的问题
- 4.recipe编辑页面,打开recipe慢的问题
- 5.recipe导出异常的问题
- 6.Jump step逻辑更新,可以跳到任意的main recipe的step;如果跳到的step有call sub,先执行sub,sub执行结束再执行住recipe step;
- 如果当前在执行sub recipe,jump到主recipe的step,可以结束当前的sub执行,跳到主recipe的step
- 2024-1-16 version 0.0.1.13
- 1.阀门av60/74/77只能查看,不能设定
- 2.Boat旋转速度更新
- 3.recipe有个别插入StepNo不正确
- 4.config为空的问题
- 5.aux页面卡顿优化
- 6.aux状态显示页面,通过点击status-》Main-》MFC之后弹出显示
- 7.更新压力单位根据config显示
- 8.recipe过程中,aux的设定值,不写到对应的ao
- 9.压力的单位,根据设定更新到1240.5,config为torr的时候,设定false;为pa的时候,设定true
- 10.更新加热带heater enable的显示
- 2024-1-15 version 0.0.1.12
- 1.sub recipe的table copy功能
- 2.aux 页面切换卡顿的问题
- 3.aux页面打开报错的问题
- 4.aux的温度设定,设定到对应的ao
- 5.删除不需要的gasline heater点位
- 6.更新boat旋转速度设定(按照40个点设定)
- 2024-1-14 version 0.0.1.11
- 1.更新charge,discharge流程
- 2.修改boat上wafer显示slot顺序不对的问题
- 2024-1-13 version 0.0.1.10
- 1.boat上下运动判断shutter为开和D340.15为true,否则报警
- 2.auto shutter运动的超时根据config设置,Boat-》AutoShutter-》MotionTimeout
- 3.boat运动的时候,先开shutter,在判断interlock
- 4.更新IO版本44
- 2024-1-12 version 0.0.1.9
- 1.去除temp pid和correct为空的报警
- 2.缩小阀门在recipe执行中占有的时间
- 3.recipe执行过程中shutter的开关超时改为30s
- 4.点击Transfer Main页面-》Init-》Abort(All Initialize那一行的),可以从AutoRunning-》Idle,从AutoIdle-》Idle
- 5.AUX更新压力等显示
- 6.IO monitor页面显示不全的问题
- 7.Recipe编辑过程中阀门状态不对的问题
- 8.更新APC wait press功能------注意,recipe要打开重新保存,如果有wait Press的步骤要重新设置
- 9.更新IO版本42,43
- 10.修改process过程中的APC设置异常
- 11.增加process过程中的wait信息log
- 12.boat的manual set功能
- 13.download apc config写D1240.8,脉冲信号3s
- 14.设定APC黄色区域,增加写D1240.10,脉冲信号3s
- 15.增加Status-》Pressure-》press页面Command Set和PID table的显示
- 16.manual set页面不读ai更新
- 2024-1-11 version 0.0.1.8
- 1.ManualSet页面更新,去除当前值显示
- 2.valve interlock去除
- 3.discharge,boat home的过程中,cool complete一直打的问题
- 4.当你 command选择 wait press down时,是给D13012这个地址发送的值,这个需要在step切换之后,假如command有切换,需要reset to 0
- 5.wait pressure up是大于等于,down是小于等于
- 6.MFC,温度的manual set界面设定值根据上次关机前的设定值
- 2024-1-10 version 0.0.1.7
- 1.Status-》Main页面,FIMS上的wafer数量显示为0
- 2.增加data log中加热带的enable信号
- 3.process在循环中点skip,结束循环有异常的问题
- 4.气路图不启动
- 5.去除boat rotate之后的stop
- 6.更新IO版本40,41
- 7.更新APC Config页面
- 8.recipe的rotate速度设定小数
- 2024-1-9 version 0.0.1.6
- 1.wait pressure up/down 关联D13012地址
- 2.LOOP和Jump改为根据step名称跳转
- 3.LOOP信息显示
- 4.Status-》Main页面,FIMS上的wafer数量显示为0
- 5.Recipe command中Loop和Jump step保存和显示删去原来的step序号
- 6.Gas页面,manual,monitor,recipe的切换显示功能
- 7.VG21点位不对问题
- 2024-1-8 version 0.0.1.5
- 1.更新return wafer的顺序
- 2.更新None stocker类型的使用
- 3.增加M1,M2的charge
- 4.discharging之后,carrier robot取了foup,停顿了20s才开始执行放动作
- 5.AV71关闭,则APC full close;AV71 open,则执行APC的command
- 6.更新boat Rotate速度设定
- 7.recipe的wait Limit后面加上(+),(-)
- 8.更新VAC1,2,3的IO及其显示
- 2024-1-6 version 0.0.1.4
- 1.process也有一个问题,就是做完工艺discharge的时候,会重复循环。
- 2.job ->load,unload,process选择stocker,数字的显示问题
- 3.加上temp correct table中flat zone的值
- 4.recipe重命名保存文件step清空问题
- 5.增加VAC1,2,3状态显示
- 6.温度界面显示更新,act值需要pv-profile值
- 7.更新了stocker none的设置
- 2024-1-5 version 0.0.1.3
- 1.更新foreline heater和gasline heater的数据显示
- 2.MFC设定问题
- 3.RecipeView页面初始化加载卡顿
- 2024-1-4 version 0.0.1.2
- 1.更新foreline heater和gasline heater的数据显示
- 2.mfc不能设置流量问题
- 2024-1-3 version 0.0.1.1
- 1.sub Recipe第一步选择,按钮可用状态修改
- 2.Stocker禁用和序号对应问题
- 3.Stocker灰色图片展示问题
- 4.FIMS cycle 测试的临时版本
- 2024-1-2 version 0.0.1.0
- 1.39,40版本IO更新
- 2.去除不需要的stocker 19,20,21的设定
- 3.Job->Load carrierID重复显示的问题
- 4.Proflile结果计算改为HeaterPV-CascadePV,只保留一个小数点
- 2023-12-30 version 0.0.0.99
- 1.profile页面Dev显示更新
- 2.profile页面Total Time,Preheat Time,Check Time显示更新
- 3.cj完成之后,wafer robot多次做home报waring的问题
- 4.Status-》main job显示信息更新
- 5.recipe剩余时间显示问题:remain time的倒计时有bug,2min9second流逝到2min0second后,又从2min59second开始计时
- 6.recipe中Profile选择问题更新(原来需要设定default才可以)
- 7.Load P时,选择第一个LP,第五个自动选上的问题
- 2023-12-29 version 0.0.0.98
- 1.不能Load M,ED,SD的问题
- 2.charge和discharge结束之后,wafer robot回到home位置
- 2023-12-28 version 0.0.0.97
- 1.更新温度的显示小数点位数
- 2.Temp PID的最大值限制更新为1000
- 3.step 时间设置秒带小数
- 4.heater导出数据精确到一位小数点
- 5.recipe description修改bug更新
- 6.return wafer时FIMS反复做load,unload修改
- 7.cooling的执行问题
- 8.recipe设定秒加上小数点
- 2023-12-27 version 0.0.0.96
- 1.return wafer时FIMS报wafer robot没缩回的interlock
- 2.sub recipe copy问题
- 3.气路图字体更新
- 4.recipe导出数据的顺序和绿色小框
- 5.recipe文件夹浏览页面卡顿的问题
- 6.recipe的OverWrite Copy and Prev. step overwrite功能有问题
- 7.Profile的Alarm limit设定小数
- 2023-12-26 version 0.0.0.95
- 1.CarrierID的自动读取
- 2.更新return wafer
- 3.autorunning,auto idle的情况,FIMS的load、unload不判断wafer机械手
- 4.增加FIMS的online offline
- 2023-12-25 version 0.0.0.94
- 1.增加LP3、4的CarrierID read
- 2.N2 Purge页面的手动操作阀门
- 3.Recipe中gas panel的阀门显示问题
- 4.recipe中apc pressure无法输入的问题
- 5.增加Mapping result的显示
- 6.增加Recipe执行Hold,Wait的显示
- 7.Recipe的MFC detail编辑页面,增加scale的显示
- 8.recipe(mfc/temp /press)各种PID Table设置值,软键盘弹出二十六键,不方便输入数字和标点符号
- 9.IO页面的滚动条增加
- 2023-12-24 version 0.0.0.93
- 1.Hold之后,显示hold住的那一步
- 2.增加MFC,Heter,APC,AUX的wait
- 3.recipe执行报temperature Profile file is empty
- 2023-12-23 version 0.0.0.92
- 1.更新heater和profile页面的显示
- 2.更新recipe的执行
- 2023-12-22 version 0.0.0.91
- 1.Status->Main显示调整
- 2.Recipe中去除MFC51,MFC57,AV54,AV56,AV57,AV58,AV59,AV63,AV64,AV65,AV66,AV67,AV68----注意,recipe需要打开重新save
- 3.gasPanel显示修复
- 4.temperature correct file is empty重复打印的问题
- 5.process recipe中增加aux的编辑
- 6.更新AUX的设定和显示(报警还没加)
- 2023-12-21 version 0.0.0.90
- 1.重做Temp页面
- 2.修复profile显示问题
- 3.gaspanel页面增加ManualMonitor控制
- 4.修改Apcpressure显示
- 5.修复SC重复注册问题
- 6.修改IO页面打开卡顿
- 7.更新heater的up、down rate下发和ramp的界面显示
- 8.增加recipe过程中的heater设定log,MFC设定log
- 9.增加AUX的设定界面
- 2023-12-19 version 0.0.0.89
- 1.更新auto profile执行逻辑
- 2.更新process recipe的导出功能
- 2023-12-18 version 0.0.0.88
- 1.更新Sub recipe的执行
- 2.更新IO
- 3.Unit按配置显示更新,Unit关联IO
- 4.MFC raming为零无法设置修复
- 5.禁用自动Logoff
- 6.pattern管路图更新
- 7.mainview页面弹窗改成二级页签
- 8.修复recipe无法delete问题
- 2023-12-17 version 0.0.0.87
- 1.除了process recipe,其他类型recipe去除Standby
- 2.增加recipe中Boat等待到位的功能,到位之后才执行下一步
- 3.更新Interlock的判断条件,原来是true,改为false
- 4.更新34,36版本IO
- 5.Manual set页面,heater状态值更新
- 6.增加MFC ramp time设定到PLC
- 7.Loop时,Next step显示不对的问题
- 8.更新Heater IO的名称
- 2023-12-14 version 0.0.0.86
- 1.更新recipe中command选择的显示
- 2.Gas Panel增加按键文字描述
- 3.更新profile功能
- 4.recipe循环过程中,点了abort,再次执行recipe,不循环的问题
- 5.更新33版本IO
- 2023-12-13 version 0.0.0.85
- 1.更新HTR1的gasline heater10
- 2.更新recipe Loop功能
- 3.更新不同类型recipe的command按键选项
- 2023-12-12 version 0.0.0.84
- 1.更新32版本IO
- 2.更新HTR1,HTR2按键逻辑
- 3.更新Recipe执行command中的jump功能
- 2023-12-10 version 0.0.0.83
- 1.更新recipe Hold逻辑,当前step执行完才hold
- 2.更新Jump step逻辑
- 3.recipe执行结束,增加选项可以不执行standby或者idle recipe
- 4.更新recipe执行中heater的up/down rate设定
- 2023-12-8 version 0.0.0.82
- 1.增加recipe的abort,skip,pause,release按键操作
- 2.去除阀门的一直报的warning
- 3.更新recipe abort
- 2023-12-7 version 0.0.0.81
- 1.修改GasPanel
- 2.修改阀门,管路,MFC,VGPart控件效果
- 3.增加Pump的AUCAGVBOTH选择
- 4.增加风机控制按键
- 2023-12-6 version 0.0.0.80
- 1.更新recipe编辑保存的问题
- 2.更新recipe执行
- 3.增加boat手动功能
- 4.gas背景更新 APC valve angel显示更改 阀门,MFC控件更新 Temp页面UPDownrate自由设置 manualsetsave确认 弹窗居中
- 2023-12-4 version 0.0.0.79
- 1.主页面apc显示更新
- 2.APC弹出页面显示更新
- 3.apc增加home按键
- 4.更新Boat的home,上升下降反复动+旋转一直转
- 2023-12-1 version 0.0.0.78
- 1.Heater 手动设置界面更新
- 2023-11-30 version 0.0.0.77
- 1.APC 手动设置界面更新
- 2.boat手动界面更新
- 2023-11-28 version 0.0.0.76
- 1.温度页面打开报错的问题
- 2.更新APC相关的IO
- 3.更新Boat cycle 测试
- 4.更新Boat E Axis Home按键
- 2023-11-21 version 0.0.0.75
- 1.更新27、28版本IO
- 2.修改不过141,142,147。问题146本来就是按照mapping结果来的
- 3.更新alarm condition
- 4.更新N2 Purge
- 2023-11-16 version 0.0.0.74
- 1.wafer robot 报not ready的问题
- 2023-11-15 version 0.0.0.73
- 1.修改bug 125
- 2.仿真机械手报RPOS超时问题
- 3.process recipe name的选择问题
- 2023-11-14 version 0.0.0.72
- 1.wafer robot cycle数量显示不对的问题
- 2.修改bug 111,114,115,134
- 3.process recipe step copy的bug
- 2023-11-11 version 0.0.0.71
- 1.更新IO
- 2.更新wafer robot cycle模式
- 2023-11-9 version 0.0.0.70
- 1.更新IO
- 2.更新Process Recipe选择SubRecipe,AbortRecipe时的显示
- 3.更新di相关的alarm报警
- 4.更新status点击Press的弹出页面(数据还未绑定)
- 2023-11-7 version 0.0.0.69
- 1.更新Interlock显示
- 2.更新Valve Open Close Interlock
- 3.更新SubRecipe,AlarmRecipe,AbortRecipe的编辑和选择
- 4.更新Io,对DI信号改为true的时候触发报警
- 5.Buffer的旋转到位增加di信号
- 2023-11-2 version 0.0.0.68
- 1.更新Automatic Valve interlock
- 2023-11-1 version 0.0.0.67
- 1.Not Install模块取放的报警
- 2.更新首页Gas及其弹出页面的数据绑定
- 3.Temperature Correction的编辑和保存
- 4.Process Recipe能够选择Temperature Correction文件,再选择相应的表
- 5.修改FOUP循环搬送的bug
- 2023-10-31 version 0.0.0.66
- 1.完善not install模块的取放foup报警
- 2.修改设置温度报警
- 3.更新1:N Carrier ID reader驱动
- 2023-10-30 version 0.0.0.65
- 1.修改bug 70,91,98,109,110,112,120
- 2.Temperature PID的编辑和保存
- 3.Process Recipe能够选择Temperature PID文件,再选择相应的表
- 4.Process Recipe,Loader选择None的bug
- 5.Load过程中执行报错的问题
- 2023-10-25 version 0.0.0.64
- 1.更新首页的UI配色
- 2.增加首页heater的温度显示
- 3.增加heater手动操作页面
- 4.增加RF ID的读取和显示
- 5.更新charge-》Discharge功能
- 2023-10-20 version 0.0.0.63
- 1.增加版本号显示
- 2.Boat 上升下降的到达信号,改用di判断
- 3.Process recipe-》Combination-》能够选择Sub Recipe和Alarm Recipe
- 2023-10-18 version 0.0.0.62
- 1.更新layout recipe boat wafer控件
- 2.在setup recipe时需要在此table内选择step name
- 2023-10-14 version 0.0.0.61
- 1.增加Boat 测试
- 2023-10-11 version 0.0.0.60
- 1.增加DO修改的log
- 2023-07-9 version 0.0.0.4
- 1.机械手协议改为UDP
- 2.增加LP3,Lp4
- 3.更新机械手的报错机制
- 2023-07-8 version 0.0.0.3
- 1.CPU占用率高的问题
- 2.Main页面切换切换到stocker(有些按键改好了)
- 2023-06-24 version 0.0.0.2
- 1.更新transfer job、auto transfer
- 2023-03-01 version 0.0.0.1
- 1.修改bug
- 2023-03-01 version 0.0.0.65
- 1.Alram、Sub、AbortRecipe增加Table功能
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