FurnaceELK/Furnace/FurnaceRT/Config/VIDs/_CEID.xml

<?xml version="1.0" encoding="utf-8"?>
<ArrayOfVIDItem xmlns:xsd="http://www.w3.org/2001/XMLSchema" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance">
	<VIDItem Name="EquipmentOFFLINE" Index="1" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="EquipmentOFFLINE">
		<LinkableVID>
			<int>3</int>
			<int>4</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ControlStateLOCAL" Index="2" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ControlStateLOCAL">
		<LinkableVID>
			<int>3</int>
			<int>4</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ControlStateREMOTE" Index="3" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ControlStateREMOTE">
		<LinkableVID>
			<int>3</int>
			<int>4</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ProcessingStarted" Index="4" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ProcessingStarted">
		<LinkableVID>
			<int>3</int>
			<int>7</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ProcessingCompleted" Index="5" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ProcessingCompleted">
		<LinkableVID>
			<int>3</int>
			<int>7</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ProcessingStopped" Index="6" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ProcessingStopped">
		<LinkableVID>
			<int>3</int>
			<int>7</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ProcessingStateChanged" Index="7" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ProcessingStateChanged">
		<LinkableVID>
			<int>3</int>
			<int>8</int>
			<int>7</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="EquipmentConstantChanged" Index="8" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="EquipmentConstantChanged">
		<LinkableVID>
			<int>3007</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ProcessProgramChanged" Index="9" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ProcessProgramChanged">
		<LinkableVID>
			<int>3107</int>
			<int>3003</int>
			<int>3004</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ProcessProgramSelected" Index="10" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ProcessProgramSelected">
		<LinkableVID>
			<int>3107</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="SpoolingActivated" Index="11" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SpoolingActivated" />
	<VIDItem Name="SpoolingDeactivated" Index="12" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SpoolingDeactivated" />
	<VIDItem Name="SpoolingFailed" Index="13" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SpoolingFailed" />
	<VIDItem Name="ProcessProgramCreated" Index="14" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ProcessProgramCreated">
		<LinkableVID>
			<int>3107</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="WAFER_LEFT_POSITION" Index="503" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="WAFER_LEFT_POSITION">
		<LinkableVID>
			<int>3404</int>
			<int>3405</int>
			<int>3406</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="WAFER_ARRIVE_POSITION" Index="504" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="WAFER_ARRIVE_POSITION">
		<LinkableVID>
			<int>3404</int>
			<int>3405</int>
			<int>3406</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CARRIER_ARRIVED" Index="1000" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ARRIVED">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CARRIER_REMOVED" Index="1001" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_REMOVED">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CARRIER_ID_READ" Index="1002" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ID_READ">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CARRIER_ID_READ_FAILED" Index="1003" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ID_READ_FAILED">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CARRIER_ID_WRITE" Index="1004" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ID_WRITE">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CARRIER_ID_WRITE_FAILED" Index="1005" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_ID_WRITE_FAILED">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CARRIER_LOADED" Index="1006" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_LOADED">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CARRIER_UNLOADED" Index="1007" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CARRIER_UNLOADED">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="SLOT_MAP_AVAILABLE" Index="1008" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SLOT_MAP_AVAILABLE">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3106</int>
			<int>3113</int>
			<int>3506</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ChargeStart" Index="2010" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ChargeStart">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ChargeEnd" Index="2011" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ChargeEnd">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3</int>
			<int>3526</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="DischargeStart" Index="2012" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="DischargeStart">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3</int>
			<int>3526</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="DischargeEnd" Index="2013" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="DischargeEnd">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="BatchLocOccupied" Index="2020" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="BatchLocOccupied">
		<LinkableVID>
			<int>3301</int>
			<int>3201</int>
			<int>3506</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="BatchLocUnOccupied" Index="2021" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="BatchLocUnOccupied">
		<LinkableVID>
			<int>3301</int>
			<int>3201</int>
			<int>3506</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="SideDummyStateAlarm" Index="2022" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SideDummyStateAlarm">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ExtraDummyStateAlarm" Index="2023" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ExtraDummyStateAlarm">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CarrierInEnd" Index="2024" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CarrierInEnd">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3105</int>
			<int>3512</int>
			<int>3514</int>
			<int>3515</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CarrierOutStart" Index="2025" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CarrierOutStart">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3105</int>
			<int>3512</int>
			<int>3514</int>
			<int>3515</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CarrierInStart" Index="2026" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CarrierInStart">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3105</int>
			<int>3512</int>
			<int>3514</int>
			<int>3515</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CarrierOutEnd" Index="2027" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CarrierOutEnd">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3105</int>
			<int>3512</int>
			<int>3514</int>
			<int>3515</int>
			<int>3505</int>
			<int>3507</int>
			<int>3508</int>
			<int>3509</int>
			<int>3510</int>
			<int>3511</int>
			<int>3519</int>
			<int>3513</int>
			<int>3518</int>
			<int>3102</int>
			<int>3003</int>
			<int>3004</int>
			<int>3302</int>
			<int>3006</int>
			<int>3101</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="SideDummyStateWarning" Index="2028" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="SideDummyStateWarning">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="ExtraDummyStateWarning" Index="2029" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="ExtraDummyStateWarning">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_NtoO" Index="30200" Description="Load Port Transfer State change form NA to Out of Service" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_NtoO">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_NtoI" Index="30201" Description="Load Port transfer state change from NA to in service" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_NtoI">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_OtoI" Index="30202" Description="Out of service to in service" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_OtoI">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_ItoO" Index="30203" Description="In service to out of service" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_ItoO">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_ItoTR" Index="30204" Description="In service to transfer ready" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_ItoTR">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_ItoTB" Index="30205" Description="In service to Transfer block" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_ItoTB">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_TRtoRTL" Index="30206" Description="Transfer ready to Ready to load" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_TRtoRTL">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_TRtoRTU" Index="30207" Description="Transfer ready to read to unload" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_TRtoRTU">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_RTLtoTB" Index="30208" Description="Ready to unload to transfer block" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_RTLtoTB">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_RTUtoTB" Index="30209" Description="RTU to TB" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_RTUtoTB">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_TBtoRTL" Index="30210" Description="TB to RTL" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_TBtoRTL">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_TBtoRTU" Index="30211" Description="TB to RTU" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_TBtoRTU">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPT_TBtoTR" Index="30212" Description="TB to TR" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPT_TBtoTR">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3116</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_NtoWFH" Index="30220" Description="CarrierID change form NA to Wait for host" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_NtoWFH">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_NtoIVO" Index="30221" Description="NA to ID verification OK" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_NtoIVO">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_NtoIVF" Index="30222" Description="NA to ID Verification Failed" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_NtoIVF">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_WFHtoIVO" Index="30223" Description="Wait for host to ID Verification OK" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_WFHtoIVO">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_WFHtoIVF" Index="30224" Description="WFH to Verification Fail" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_WFHtoIVF">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_DELETED" Index="30225" Description="ID  deleted" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_DELETED">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_NtoINR" Index="30226" Description="N to ID not read" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_NtoINR">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_INRtoIVO_6" Index="30227" Description="ID not read to Verification OK transsision 6" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_INRtoIVO_6">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_INRtoIVO_11" Index="30228" Description="ID not read to Verification OK transsision 11" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_INRtoIVO_11">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_INRtoWFH_7" Index="30229" Description="ID not read to Verification OK transsision 7" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_INRtoWFH_7">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_INRtoWFH_10" Index="30230" Description="ID not read to Verification OK transsision 10" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_INRtoWFH_10">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CSM_SMNRtoWFH" Index="30240" Description="Carrier Slot map change from not read to wait for host" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CSM_SMNRtoWFH">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3106</int>
			<int>3117</int>
			<int>3118</int>
			<int>3119</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CSM_SMNRtoSMVO" Index="30241" Description="Carrier Slot map change from not read to verification OK" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CSM_SMNRtoSMVO">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3114</int>
			<int>3118</int>
			<int>3119</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CSM_WFHtoSMVO" Index="30242" Description="Wait for host to verification OK" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CSM_WFHtoSMVO">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3118</int>
			<int>3119</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CSM_WFHtoSMVF" Index="30243" Description="Wait for host to verification failed" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CSM_WFHtoSMVF">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3114</int>
			<int>3118</int>
			<int>3119</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CSM_SMNRtoSMVF" Index="30244" Description="Not read to verification failed" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CSM_SMNRtoSMVF">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3114</int>
			<int>3118</int>
			<int>3119</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CA_NAtoIA" Index="30250" Description="Carrier access state change from Not access to in access" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CA_NAtoIA">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3114</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CA_IAtoCC" Index="30251" Description="Carrier access state change from In access to carrier complete." Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CA_IAtoCC">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3114</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CA_IAtoCS" Index="30252" Description="In access to carrier stopped." Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CA_IAtoCS">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3114</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CA_NAtoCS" Index="30253" Description="NA to Carrier stopped" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CA_NAtoCS">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3114</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPR_NRtoR" Index="30260" Description="Load port reserve state from Not reserve to reserved" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPR_NRtoR">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPR_RtoNR" Index="30261" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPR_RtoNR">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPCA_NAtoA" Index="30270" Description="Load Port carrier assocation from Not associated to associated" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPCA_NAtoA">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3112</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPCA_AtoNA" Index="30271" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPCA_AtoNA">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3112</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="LPCA_AtoA" Index="30272" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="LPCA_AtoA">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3112</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="AM_NtoA" Index="30280" Description="Access mode from NA to Auto" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="AM_NtoA">
		<LinkableVID>
			<int>3111</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="AM_NtoM" Index="30281" Description="Access mode from NA to Manual" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="AM_NtoM">
		<LinkableVID>
			<int>3111</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="AM_MtoA" Index="30282" Description="Access mode from Manual to Auto" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="AM_MtoA">
		<LinkableVID>
			<int>3111</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="AM_AtoM" Index="30283" Description="Access mot changed from auto to manual" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="AM_AtoM">
		<LinkableVID>
			<int>3111</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CR_OPN" Index="30290" Description="Carrier Opened" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CR_OPN">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CR_CLS" Index="30291" Description="Carrier Clear" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CR_CLS">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CLCHG" Index="30292" Description="Carrier Closed" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CLCHG">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CCLMP" Index="30293" Description="Carrier Clmp" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CCLMP">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CUCLMP" Index="30294" Description="Carrier Unclmp" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CUCLMP">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CDOCK" Index="30295" Description="Carrier Docked" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CDOCK">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CUDOCK" Index="30296" Description="Carrier Undocked" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CUDOCK">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_WRITE" Index="30305" Description="Carrier ID Writed" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_WRITE">
		<LinkableVID>
			<int>3105</int>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CID_WRITE_FAIL" Index="30306" Description="Carrier ID Writed Fail" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CID_WRITE_FAIL">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CR_LOADED" Index="30309" Description="Carrier Loaded" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CR_LOADED">
		<LinkableVID>
			<int>3113</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_CREATED" Index="30500" Description="State change report : (no state)→QUEUED" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_CREATED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_CANCELD" Index="30501" Description="State change report : QUEUED→(no state)" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_CANCELD">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_SELECTED" Index="30502" Description="State change report : QUEUED→SELECTED" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_SELECTED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_EXECUTING_5" Index="30504" Description="State change report : SELECTED→EXECUTING(Control Job State Transition _5)" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_EXECUTING_5">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_EXECUTING_7" Index="30505" Description="State change report : WAITING FOR START→EXECUTING(Control Job State Transition _7" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_EXECUTING_7">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_WAITINGFORSTART" Index="30506" Description="State change report : SELECTED→WAITING FOR START" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_WAITINGFORSTART">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_PAUSED" Index="30507" Description="State change report : EXECUTING→PAUSED" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_PAUSED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_RESUME" Index="30508" Description="State change report : PAUSED→EXECUTING" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_RESUME">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_COMPLETE" Index="30509" Description="State change report : EXECUTING→COMPLETED" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_COMPLETE">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_STOPPED" Index="30510" Description="Stop Process.State change report : ACTIVE→COMPLETED" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_STOPPED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_ABORTED" Index="30511" Description="Abort Process.State change report : ACTIVE→COMPLETED" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_ABORTED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="CJ_DELETED" Index="30512" Description="State change report : COMPLETED→(no state)" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="CJ_DELETED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_CREATED" Index="30600" Description="State change report : (no state)→POOLED" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_CREATED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_SETTINGUP" Index="30601" Description="State change report : POOLED→SETTING UP" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_SETTINGUP">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_WAITINGFORSTART" Index="30602" Description="State change report : SETTING UP→WAITING FOR START" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_WAITINGFORSTART">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_PROCESSING_4" Index="30603" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_PROCESSING_4">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_PROCESSING_5" Index="30604" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_PROCESSING_5">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_PRCOMPLETED" Index="30605" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_PRCOMPLETED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_COMPLETED" Index="30606" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_COMPLETED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_PAUSING" Index="30607" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_PAUSING">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_PAUSED" Index="30608" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_PAUSED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_RESUMED" Index="30609" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_RESUMED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_STOPPING_11" Index="30610" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_STOPPING_11">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_STOPPING_12" Index="30611" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_STOPPING_12">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_STOPPED" Index="30612" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_STOPPED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_ABORTING_13" Index="30613" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_ABORTING_13">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_ABORTING_14" Index="30614" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_ABORTING_14">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_ABORTING_15" Index="30615" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_ABORTING_15">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="PJ_ABORTED" Index="30616" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="PJ_ABORTED">
		<LinkableVID>
			<int>3201</int>
			<int>3202</int>
			<int>3203</int>
			<int>3205</int>
			<int>3103</int>
			<int>3210</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="STS_ATDESTINATION" Index="30706" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="STS_ATDESTINATION">
		<LinkableVID>
			<int>3404</int>
			<int>3407</int>
			<int>3408</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="STS_PROCESSED" Index="30710" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="STS_PROCESSED">
		<LinkableVID>
			<int>3404</int>
			<int>3407</int>
			<int>3408</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="STS_ABORTED" Index="30711" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="STS_ABORTED">
		<LinkableVID>
			<int>3404</int>
			<int>3407</int>
			<int>3408</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="STS_STOPPED" Index="30711" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="STS_STOPPED">
		<LinkableVID>
			<int>3404</int>
			<int>3407</int>
			<int>3408</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
	<VIDItem Name="STS_REJECTED" Index="30712" Description="" Module="System" Type="" Unit="" Parameter="STS_REJECTED">
		<LinkableVID>
			<int>3404</int>
			<int>3407</int>
			<int>3408</int>
			<int>3</int>
		</LinkableVID>
	</VIDItem>
</ArrayOfVIDItem>