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- HF Furnace 系统更新历史记录
- 以0.0.0.4版本作为机台可用版本
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- 2025-10-15 version 0.0.0.4
- 1:EAP 问题机台端验证通过
- 2:将FAB内配置项同步到Git仓库
- 3:优化去除Recipe Gas UI Step切换弹窗提示
- 4:bug 修复 Status=>Main界面 SubRecipe执行中,展示的subRecipeName是step名称
- 5:新增加热带 温度/功率 SVID及其逻辑
- 6:增加DryClearnCount SVID及其逻辑
- 7:recipeGasUI Step切換去除弹窗
- 8:Step/Recipe/Boat的累计膜厚 如果累计值<=0,直接归0处理,不存在负值的情况
- 9:StepName界面 save弹窗提示
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