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  1. 
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  3. HF Furnace 系统更新历史记录
  4. 以0.0.0.4版本作为机台可用版本
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  6. 1:mfc sv延迟下发功能
  7. 2:双击 Chart无需重置图表
  8. 3:Job涉及的 command都需要上报事件,alarmCondition额外上报RecipeAbnormalEnd事件
  9. 4:变更GemModel文件
  10. 5:自动补液添加checkTime,默认1s,支持配置
  11. 6:wtr/ftr routinue增加3次 check IsReady逻辑/与延迟时间配置
  12. 7:UI O2 checkLimitData根据不同阶段展示不同数据
  13. 8:boat R Axis boatrotatestop指令 Stop之后,Check IsMoving信号
  14. 9:预约Job,Tube状态按照正常Job状态进行
  15. 2025-10-15 version 0.0.0.4
  16. 1:EAP 问题机台端验证通过
  17. 2:将FAB内配置项同步到Git仓库
  18. 3:优化去除Recipe Gas UI Step切换弹窗提示
  19. 4:bug 修复 Status=>Main界面 SubRecipe执行中,展示的subRecipeName是step名称
  20. 5:新增加热带 温度/功率 SVID及其逻辑
  21. 6:增加DryClearnCount SVID及其逻辑
  22. 7:recipeGasUI Step切換去除弹窗
  23. 8:Step/Recipe/Boat的累计膜厚 如果累计值<=0,直接归0处理,不存在负值的情况
  24. 9:StepName界面 save弹窗提示