--------------------------------------------------------------------------------- Furnace 系统更新历史记录 --------------------------------------------------------------------------------- 2025-4-25 version 0.0.3.23 1.process过程中点abort执行abort recipe 2.process detail修改 3.Backup页面增加 4.gaspattern页面的next和recipe edit选择步联动 2025-4-18 version 0.0.3.21 1.更新CLN alarm condition 2025-4-12 version 0.0.3.20 1.修改Aux 修改保存出错问题 2025-4-11 version 0.0.3.19 1.修改Aux GasLine切换RecipeChange逻辑 2025-4-8 version 0.0.3.18 1.更新InterLock报警 2025-4-7 version 0.0.3.17 1.FOUP load之前判断在位sensor，不符合则报警 2.gaspattern uimonitor和recipe模式切换选择改为绿色 3.更新ELK IO 4.状态显示界面 MFC列表显示不区分项目 5.AUX配置添加显示隐藏 2025-3-31 version 0.0.3.16 1.loadport状态机根据all initialize执行后变为idle 2、根据要求 隐藏没有硬件的加热带 2025-3-26 version 0.0.3.15 1、根据广川资料，把报警内容从英文改为中文 2.boat E因为interlock不满足或者timeout后，当前step time执行结束一直处于wait状态，等待boat执行到达位置，但是指令因为报警不在发送。现已优化报警后通过人为消除报警后，手动continue， 指令根据最近一次动作继续且tube status在process状态下才能操作continue 2025-3-23 version 0.0.3.14 1.ELK增加APC通讯异常报警 2.ELK增加写完PID之后，三秒再写读config的DO点位 3.alarm list里面的clear all和transfer界面alarm clear每次点击都会固定给foup/wafer robot发init清除错误的指令，需要优化为根据DI foup/wafer alarm信号为true点击clear all和alarm clear才包括发robot init清除错误指令 2025-3-18 version 0.0.3.13 1、transfer界面stock上foup状态标签展示功能同步（问题修改） 2025-3-14 version 0.0.3.12 1、alarm list里每项alarm cause以及它的recovery未添加（根据广川资料，把报警内容添加上） 2025-3-13 version 0.0.3.11 1、主界面 Gas MFC根据SetPoint是否显示功能 2、从 Tin项目中 同步 ProcessDetail代码 3、从 Tin项目中 同步 maintenace执行process完成后更新pj_data 4、bug119 ELK process recipe- -combination选择sub recipe会显示路径，导致无法准确 确定调用哪个sub 5、bug120 ELK process history查询出来recipe name显示出来文件夹路径，导致无法确定数据为哪个recipe的 6、bug124 Layout recipe无法使用delete功能 7、bug130 wafer robot&foup robot download/upload指令下发不对（参考TIN功能同步） 8、bug127 transfer界面stock上foup状态标签展示功能同步（参考TIN功能同步） 9、bug 129 Dummy wafer使用次数以及厚度支持手动修改（参考TIN功能同步） 2025-2-28 version 0.0.3.10 1、recipe edit卡顿问题 2、ELK项目中 RT初始化根据需求 MINI8AlarmReset PLCCPUReset 点位首先ON 1秒后OFF 2025-2-26 version 0.0.3.9 1、DataHistory 中添加 GasLine8 AI显示 2、ELK Recipe中添加MBP1和MBP2 2025-2-23 version 0.0.3.8 1、修改HTR CLN 控制 2025-2-22 version 0.0.3.7 1、修改Presure显示不了负数问题 2、修改ELK气路图 3、增加HTR CLN 控制 2025-2-21 version 0.0.3.6 1、ELK更新ValveAV87 ValveAV86 位置 2、ELK更新IO，Gas界面增加Presure显示 2025-2-20 version 0.0.3.5 1、更新ELK IO 添加报警信息 2、修改MFC单位显示 3、Elk AUX 增加GasLine8 4、ELK AUX 增加AlarmLower AlarmHigher AO设置 2025-2-15 version 0.0.3.4 1、更改ELK GasLine IO 2、调整 ELK AlarmSignalGLBoxVG32Output1 AlarmSignalGLBoxVG32Output2 AlarmSignalGLBoxVG33Output1 AlarmSignalGLBoxVG33Output2 报警信息 2025-2-13 version 0.0.3.3 1.FOUP robot的load，unload增加goto指令 2.按照要求修改gas box exhaust 1st alarm MS2等点位地址信息 2025-2-12 version 0.0.3.2 1.ELK增加DEPOSW点位 2.更新waferRobot和foupRobot的command写入和回读 2025-2-7 version 0.0.3.1 1.recipe jump step一直卡在preProcess的状态的问题 2025-1-23 version 0.0.2.100 1.更新ELK中 N2Purge界面及流程中的点位控制 2025-1-21 version 0.0.2.99 1.更新ELK中 GasLine7的AI_CH16PV同步到AO_RAXIS中 2025-1-16 version 0.0.2.98 1.更新ELK中 AV80 AV81为不可操作阀门 2025-1-15 version 0.0.2.97 1.更新ELK种 AV131 AV134为不可操作阀门 2025-1-14 version 0.0.2.96 1.更新无法报警问题 2025-1-9 version 0.0.2.95 1.更新ELK气路图depo ok下面的状态关联D341.8，cln OK下面关联D341.9,nvac OK下面关联D340.8 2025-1-8 version 0.0.2.94 1.data history删除几项CurrentPosition和wafer prensence点位 2.增加TPstatus的data hsitory 3.按照要求增加新点位(GasLine和Tube之间的点位触发) 4.修改ILK设置和显示 5.修改PM1表字段太多无法保存问题 6.修改IO配置及气路图中DP1状态显示问题 2024-12-25 version 0.0.2.89 1.需求1recipe执行，不需要显示文件路径，只用显示recipename靠左即可 2、增加单独x轴缩放 3.OverTemp添加报警显示 2024-12-23 version 0.0.2.88 1.ELK 气路图更新AV85 AV86阀门位置 2024-12-20 version 0.0.2.87 1.tempProfile的check time保存有误 2.ELK气路图 DI_LDS1SystemReady DI_LDS2SystemReady 显示 3.DDC界面和OverHeat界面显示按照要求修改 2024-12-19 version 0.0.2.86 1.LP取片报status=InTransfer is busy的问题 2.OverHeat界面绑定 2024-12-18 version 0.0.2.85 1.ELK AV39和AV38界面开关只能有一个开功能实现 2024-12-16 version 0.0.2.84 1.ELK bug62 可以拖拽，改成固定的 2.ELK bug63 stocker界面注释掉 3.修改recipe编辑气路刷新问题 4.ELK Recipe HMNT CMNT HREF CREF HZERO CZERO 6个按钮执行添加 2024-12-15 version 0.0.2.83 1.更新ELK气路REF等按钮控制 2024-12-13 version 0.0.2.82 1.ELK bug82 load界面加上No 2.ELK bug80 布局调整一下，把右边step完整显示出来 3.ELK AUX SetPoint 改为读取AO 4.历史数据中添加mfc 17, 31,32的历史数据查询 2024-12-11 version 0.0.2.81 1.修改ELK AV77控制逻辑 2024-12-10 version 0.0.2.80 1.阀门延时开，只有延时到了之后才判断开关条件，不符合条件报警并且不开阀 2024-12-09 version 0.0.2.79 1.更新ProfileTemp和CascadeTCCorrect的计算方式 2.TP状态，不需要发RERR 2024-12-06 version 0.0.2.78 1.Elk Recipe 去掉AVA66 2.ELK valvelock更新 3.修复阀门延时打开问题 2024-12-04 version 0.0.2.77 1.解决Edit AramConditon报错问题 2024-12-04 version 0.0.2.76 1.DDC界面添加报警显示 2024-12-03 version 0.0.2.75 1.ELK气路图添加原点 2.添加Heater报警 2024-11-26 version 0.0.2.74 elk的AGV1和AGV2; DP1,DP2follow 2024-11-21 version 0.0.2.73 1.AUX异常问题解决 2024-11-20 version 0.0.2.72 1.增加TC break的功能 2.ValveAV71执行错误问题 3.ELK添加HTR1 HTR2使能 4.ELK ValveAV60 ValveAV74 ValveAV77 不可编辑修改 5.更新ELK IO 2024-11-19 version 0.0.2.71 1.更新N2Purge相关功能 2024-11-18 version 0.0.2.70 1、ELK follow 1.ELK Recipe执行添加DP1 DP2 2024-11-15 version 0.0.2.69 1.Parameter 界面注释掉 Set Default File功能 2.更新ELK仿真问题 3.DDC界面添加显示 4.ELK DI_AV99ILK添加报警 5.按要求修改job页面 注释掉相关内容 2024-11-12 version 0.0.2.67 1.Robot更新报警描述 2.ELK更新GasLine AUX界面显示（从配置文件获取） 2024-11-8 version 0.0.2.66 11、ELK中AUX界面点位显示 12、GasLine添加权限 2024-11-6 version 0.0.2.65 1、bug168 文件夹里面的recipe，双击后会展开左右移动 2、bug169 sibcn不用显示出来gasline模块 3、bug51 wafer thick界面删掉 4、bug53 SiBCN：wafer mapping 界面删掉 5、bug51 SiBCN：aux status界面删掉 6、bug50 layout/job recipe的select recipe type删掉 7、bug49 process/sub/alarm/abort/reset/idle recipe，在选中一个recipe时候，new folder也能选，不应该置灰 8、bug57 visible,name包括后面框长度可以拉缩，要固定住 9、bug58 单词拼写，format 10、bug56 data charting删的时候报错 11、切换step时，MFC值改变 12、depo字段，process log导出添加 2024-11-4 version 0.0.2.64 1.DPO的状态显示灯根据点位D341.3显示 2.欧陆通讯增加inerval设定 3.Full Close 不执行问题解决 2024-11-1 version 0.0.2.63 1、bug37、选中框的范围扩大 已修改 2、bug42、Data charting需要添加Zoom in/out等控件 实时刷新数据，尝试加了会被刷掉 添加后发现无法使用 3、bug43、abort recipe只有10个table 已修改 4、bug44、carrier robot/wafer robot wafer/fims1/fims2/boat wafers没有carrier 也能create wafer 添加了FIMS1、FIMS2、CarrierRobot判断 5、气路图添加CREF和SICREF控制 6、阀门显示反馈真实的状态 7、SiBCN项目添加 LA_O2_Check_OT FIMS1_O2_Check_OT FIMS2_O2_Check_OT 报警 2024-10-30 version 0.0.2.62 1.增加modbusTCP通讯间隔的配置 2024-10-30 version 0.0.2.61 1.修改ELK _ioDefineGasLine 地址 2.修改ELK _ioDefineGasLine 更换类型后界面对应更改 2024-10-29 version 0.0.2.61 1.Elk Recipe气路图 MFC更改后改变颜色 2.问题50 两个job不能用同一盒里面相同的slot 3.更新stocker FOUP吹扫功能 4.SiBCN去除DI_PS13LStatus的报警 5、导出数据AV40~到AV51、53，55缺失 2024-10-28 version 0.0.2.60 1.模拟器添加 GASLine相关IO显示 2.RecipesCompare历史对比功能优化 2024-10-25 version 0.0.2.59 1.更新ELK_ioDefineGasLine IO 2.ELK 气路图更新操作BothPump操作 2024-10-25 version 0.0.2.58 1.ELK气路图按照心要求（71控件换成sibcn的）vac信号灯关联 pump更换控件 2024-10-24 version 0.0.2.57 1.elk gas pattern 关联一下BWR/DPR使能 2024-10-23 version 0.0.2.56 1.SiBCN项目 HTR1 HTR2 HTR3 DEPO 点位增加DO控制 2.问题50 两个job不能用同一盒里面相同的slot 3.ELK问题39 拼写错误，control,angle 4、把用过的绿色的wafer删除，再创建，transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色。修改 5、两个界面，删掉data history/charting group画框的功能，不需要 6、查看了manualset后 MFC Set值变化 2024-10-18 version 0.0.2.55 1.修改bug：config开启不discharge dummy wafer的配置，先跑job1结束discharge5片m，剩下dummy在boat上，预约了job2，执行job2正常放m位置5片dummy即可，但是执行job2提示不match 2.修改bug:第一个job执行结束dummy不discharge在boat上，在执行一个job空的layout执行不起来，job信息会自动为空 3.fims load/unload cycle结束多发了一次load使能，导致cycle结束处于load状态 4.Process history中wafer数量不对的问题 5、shutter的cycle功能 6、把用过的绿色的wafer删除，再创建，transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色。 2024-10-17 version 0.0.2.54 1.Bug 26、27、28、30按照新需求修改 2.Elk问题35 完成待验证 2024-10-16 version 0.0.2.53 1.修改仿真滚动条显示不全问题 2.Bug 26、27、28、29、30、32 完成 3.Elk问题35 2024-10-14 version 0.0.2.52 1.更新ELK中的Recipe编辑界面 2.去除D102.0的报警 2024-10-14 version 0.0.2.51 1.修改bug：foup robot提前pick一盒foup在手上，这个时候执行load动作会宕机 2.修改bug:foup robot提前pick一盒dummy，然后下job会造成死循环取放dummy 3.修改bug：第一个job执行结束dummy不discharge在boat上，在执行一个job空的layout执行不起来，job信息会自动为空 4.重启软件，heater设定为0的问题 5.更新ELK中的Recipe编辑界面 5.bug20下3个job，排序正常是按照123顺序排。 2024-10-12 version 0.0.2.50 1、Bug13从位置1移动到位置2，最后位置1的灯亮了，关联错了 2、Bug23把用过的绿色的wafer删除，再创建，transfer main界面是蓝色的。但是status-main主界面的foup仍然是绿色 3.Alarm clear不能够消除状态机的错误（boat fims） 2024-10-11 version 0.0.2.49 1.return wafer过程robot报错，切换offline操作alarm clear，会报出warning return wafer过程不可操作alarm clear导致不可continue 2.charge全ED，charge完成会报机械手home的warning的提示 2024-10-10 version 0.0.2.48 1、Bug6、aux status 光标定位某一行，蓝色只能短暂出现两秒，就没了 2、Bug11、点开selectM,如果1-25没选择任何一个，点击accept，然后foup图案处还是会置灰 3、Bug13、从位置1移动到位置2，最后位置1的灯亮了，关联错了 4、Bug19、支持触摸屏滚动layout recipe 5、调整ELK气路图 6、Bug22、temp 这个follow问题，把第一步设成furnace，然后点黄框那取消，第一步恢复heater了，但是后面步骤还是furnace 2024-10-9 version 0.0.2.47 1.调整ELK气路图 2024-10-9 version 0.0.2.46 1.更新ELK buffer到位信号的判断 2.调整ELK气路图 2024-10-8 version 0.0.2.45 1.修改SiBCN的DI地址偏移量 2.调整ELK气路图 2024-9-29 version 0.0.2.44 1.增加GasLineHeaterMemoryChange的data history 2024-9-27 version 0.0.2.43 1.charge 卡死问题 2. ELK 14 【新需求】sub recipe编辑的时候，控温模式默认成Furnace模式 3. ELK 16 lp1和lp2都存在 loadport1 三个位置di对应DO应该是placement亮,实际上presence亮了 loadport1 foup detect对应DO应该是presence亮，实际上没亮 4. ELK 18 控件在机台上不方便点击，点到选中框才能选中，把选中的范围加大 5. ELK 10 data history选定框范围放大，触摸屏不好操作 2024-9-26 version 0.0.2.42 1、recipe follow最后一步异常，已修改 2、Scheduler.CoolingRemainTime保存异常 2024-9-24 version 0.0.2.41 1.100【新需求】process recipe历史对比，如果只勾选一个recipe，点recipe compare，需求呈现是和最新的对比。【布局再修改下】 2、159、combination挂的sub recipe，点开没有光标定位，不确定具体是哪个sub recipe 3、recipe编辑打开pattern没反应UIlog异常 2024-9-23 version 0.0.2.40 1.更新ELK客户端气路图 2.Temperature中的 DCC和 OverHeat界面更新 3、跨天导出数据有空行 4、删掉下面箭头 5、di/do/ai/ao第一页点向下翻页箭头，43之后直接跳到55了，缺一列44-54没显示 6、wafer mapping 排序反了 17、job recipe,想copy到文件夹里，不生效也改了 2024-9-19 version 0.0.2.39 1.ELK问题 （4.D1240.15地址，我们定义写错了） 2.Recipe比较，可以比较含Table的recipe文件 3.支持触摸屏滚动，目前recipe Edit页面的Step采用的是截取分页，无法支持，其它要求的页面已修改 2024-9-19 version 0.0.2.38 1.recipe执行异常 修改recipe模板文件，增加DPR保存为ValveAV91 注老的recipe文件需要打开再保存下 2.增加膜厚统计之后，执行完多个job，dummy wafer有时不charge的问题 3.50 两个job不能用同一盒里面相同的slot 4.稷以ScheduledMaintenance页面更新 5.ELK问题（1.ELK附件AI D9350 新增了环形网络报警断掉节点号反馈） 2024-9-14 version 0.0.2.37 1.ELK 气路图更新 2.跑recipe，数据库不记录的问题 2024-9-12 version 0.0.2.36 1、Temp Correction和Temp PID导出数据部分 2、修改以前数据导出不了 3.更新AxisMon界面参数显示 4.ELK 气路图更新 2024-9-11 version 0.0.2.35 1.增加Heater Cascade Mode和Heater Mode SV的导出 2.增加Temp Correction和Temp PID的保存 3.CascadeControlModeSV和HeaterControlModeSV取消取整 4.rhc判断发0的逻辑 2024-9-10 version 0.0.2.34 recipe Film THK数据保存 recipe Correct 使用就的tableName 2024-9-9 version 0.0.2.33 124.PJOB需要添加cooling skip功能 128.boat E轴R轴 DI的move信号没有亮，做initialize会报boat在move状态 100.【新需求】process recipe历史对比，如果只勾选一个recipe，点recipe compare，需求呈现是和最新的对比。 149.连续两个step挂sub(DEMP1/DEMP2)，执行DEMP2显示的次数还是DEMP1的293次，而不是1/5 1.ELK 气路图更新 2.注释AUX报警 已经存在的比较老的Parameter Edit,删除recipe不能点 2024-9-5 version 0.0.2.32 104、parameter-edit-alarm condition-edit file,打开error command,call alarm recipe和call abort recipe的table name1-3,能改name 144、保存编辑后的recipe,光标跑到最上面去了 117、上下限和时间不能设置负数 135、alarm condition,编辑AUX设定值为5，保存后再打开，显示还是0 136、alarm condition,编辑press,OPRS-14选择off，保存后再打开，显示还是on 143、当process recipe运行完了，结束时间就清掉了。实际上job recipe还在进行cooling，没有完全结束。 99、transfer循环次数配置没有生效，只能跑一次 2024-9-4 version 0.0.2.31 76、manualset,修改temp，loader,pressure的数据，然后点击cancel，没有恢复未修改前的数据 119、recipe界面，当没有选择某个recipe时，也就是没有具体的光标定位时，右侧画红框的deleate，edit，rename,copy，view,export,change, 120、recipe编辑，第二步，下方overwrite copy置灰了 126、Data history/Data charing里面参数排序不对 117、上下限和时间不能设置负数 143、当process recipe运行完了，结束时间就清掉了。实际上job recipe还在进行cooling，没有完全结束。 142、parameter-edit,Tempcorrection table name修改，保存打开显示还是默认的name 131、recipe，点击new folder和rename folder，弹出来的提示框有选择"folder"的文本框 130、已经存在的比较老的job recipe,删除recipe不能点 2024-9-3 version 0.0.2.30 49、recipe compare，切换step,step parameter还保存上一个step的数据 59、Moniter模式下看mfc是会变动的actual值，远程连接后mfc不会实时刷新 68、process recipe ,Command是zero set，ui不显示pid，导出文件有pid 27、io list按照模块分类 55、有一片wafer做过工艺的，foup就是绿色 2024-8-30 version 0.0.2.29 1.修改Gas Heater Sensor Break Out Alarm到地址D8400；Temp Limit Alarm到地址8402 2.去除D3.14和D102.0的报警 3.bug40 新建recipe后,光标没有定位到新建的recipe处，需要往后翻页 4、bug106 table控件在机台上不方便点击操作点到小点，才能选择某table 5、bug132 alarm condition右侧的滑动框，滑动一闪一闪的 6、bug24 Cjob start time显示的job start time 7.htr1+htr2+f2 cln用配方2 AO13360发 2，同时使用table2的Foline heater set值;判断htr1点亮AO13360发1，table1发Foline heater set值;判断htr1灭AO13360发0 2024-8-28 version 0.0.2.28 1.step挂alarm condition没执行完，结束时间为空 2.更新ELK气路图 3、bug68、recipe编辑，mult steps delete，弹出框里面有stand by和最后一步end，能删除stand by和最后一步end 4、bug116、recipe运行，把alarm condition设置jump挂到recipe，process状态下，点击download，要弹出提示框不能download 5、115, data log-data history,data charge的小三角框放大，不然在机台上不好选择 2024-8-27 version 0.0.2.27 46、aux set界面光标不会随着按键去切换 66、process recipe 导出Press.Command问题------ui格式是冒号，导出文件格式是点，有无问题。 69、recipe编辑，点击over write copy，弹出框里面有 70、recipe编辑，点击insert copy，弹出框里面有 115、data log-data history,data charge的小三角框放大，不然在机台上不好选择 2024-8-26 version 0.0.2.26 1.修改bug：16,28，41,46，59，66，70，78，91 2.Jump 到call sub下一步的step，会执行上一步的call sub的问题 2024-8-23 version 0.0.2.25 1.process log导出没有MFC13--16 2.导出step有缺失 2024-8-22 version 0.0.2.24 1.alarm condition增加每一个导航栏里面都要加delay time 2.列表框禁止拖拽 2024-8-22 version 0.0.2.23 1.FOUP机械手取放片报错之后，CarrierRobot delay 1 time to detect wafer log一致报的问题 2.不管什么时候点都清除错误给使能，不回原点 3.机械手的CycleMode改为TransferMode，CycleNumber改为TransferModeNumber 4.run to run cycle统计界面，做第二次不是从0开始统计而是累计 5.机械手alarm信号一直是亮的。alarm clear后不会在刷新出来这个错误报警，进行transfer都是正常的，应该判断这个信号亮，就要报错不能进行动作 6.load step下面设置rotate就报警的问题 7.MFC,Heater，Press报警增加delay检测时间，过了delay time才开始检查 8.wafer robot和FOUP robot reset不下发对应的reset do 9.bug序号51、 53 2024-8-20 version 0.0.2.22 78、manualset,gas的pattern，左下角按键，打开/关闭时有开关二次选择 79、recipe编辑，gas的pattern，左下角按键，打开/关闭时有开关二次选择 80、manualset/recipe编辑，gas的pattern，mfc输入数据，小数点后面位数没限制，逻辑是四舍五入保留了三位 82、点击release，没有弹出来确认提示框 85、manualset，gas的pattern，mfc修改数据，底色没变化（和recipe里面编辑的保持一致） 90、recipe follow,combination里的，比如修改第5步的，结果前面的几步也跟着改动了" (此处配置为整个recipe文件共用) 其它：DataGrid的全局样式修改都不能进行拖拽 1.更新alarm condition中MFC13--16的选项 2024-8-16 version 0.0.2.21 1.修改bug 43 recipe compare,删掉copy，undo和save功能 2.修改bug 47 软件不支持recipe history对比 3.修改bug 49 recipe compare界面功能模块操作空间太小，机台上容易点错 4.修改bug 54 process,select m界面打开，文本框推拽能交换位置 2024-8-15 version 0.0.2.20 1、sub Recipe，切换table，step数据有异常 2、alarm recipe空时创建recipe，不显示recipe文件 3、选择的wafer数量和layout对应不上的时候，报waring，job不开始 2024-8-12 version 0.0.2.19 1.discharge过程中，新建了load job，导致机械手不动的问题 2.Process step boat选择到Load位置，到位之后提前结束step 2024-8-9 version 0.0.2.18 1、manualset这里loader和pressure设置mode，没有标黄，导致我们每次set都会执行这里的模式。 2、manualset界面gaspattern在manual模式下编辑mfc为1，set后显示还是之前的3 3.新建sub recipe不能添加step 4.manualset界面manual模式下设定值不会显示，需要下发才显示 5.光标在新建文件下再次new folder，会默认创建一个子文件。需要改为new folder没有选择路径的情况，新建成主文件 6.先改了mfc/temp外面的数，然后点开detail，啥也没动，再点close，刚才修改的数就没生效 7.先改了aux的数，save保存后，aux变黄并且follow了。再打开刚才修改的，点close，刚才修改的数就没生效。 2024-8-8 version 0.0.2.17 1.更新LeakCheck的显示 2.29、先改了mfc/temp外面的数，然后点开detail，啥也没动，再点close，刚才修改的数就没生效 3.40、manualset的mode，heater模式右边空的 4.63、load两个及以上的p/SD/ED/M，不输入carrier id，是默认load的carrier id是相同的，所以导致报错 5.sub recipe的apc pid文件没有用Process recipe中Combination所选择的问题 6.ayout下4片m。stock两盒m，每盒用2片下job会出现这样的报警，创建3盒m在stock，选两盒下job就能跑起来 2024-8-7 version 0.0.2.16 1、recipe 编辑appendstep去掉IsSave状态，Name采用Name+No 2、GasPanel采用AITGasValve控件，修改显示判断条件 2024-8-6 version 0.0.2.15 1、Press.Command保存对应值，其它保存为0 其它类型补充 2、appendstep添加功能修改，采用拷贝当前步，增加拷贝委托，修改设置第一步和最后一步false 2024-8-5 version 0.0.2.14 1、manual显示我Set值上一次设置什么打开还能看到 2、Press.Command保存对应值，其它保存为0 3、选择slot wafer界面，容易出现误触。会造成我们选择三片因为误触选择了修改 2024-8-5 version 0.0.2.13 1、valve delay 2、编辑DP MBP 3、pump的按键可以follow 4、Valve闪烁 5、Job wafer选择 6、valve的delay time界面 7.更新跑recipe报索引值超出范围的问题 2024-7-28 version 0.0.2.09 1.buffer servo torque为0的问题 2.更新charge按照slot选择 3.buffer servo torque关联地址不对的问题 4.创建Proces job时，如果wafer的slot被前面的job选中，则报警提示，wafer不允许创建 5.PLC的di报警，解除的时候，自动复位 6.ManualSet页面，Heater设定了ramp之后，有问题 7.M wafer数量够，也报不够的问题 2024-7-23 version 0.0.2.06 1.增加wafer robot TP模式的warning 2.去除AV71开和DI_AV71ILK相关的报警 3.AV71显示开的逻辑，D9008的值不为5，就认为是开 4.Alarm Clear增加发送D1089.0和D1092.12 5.收到D115.4和D119.6报警之后，发RERR给机械手 6.增加temp pid，temp correct，APC PID，alarm condition的Download功能 2024-7-19 version 0.0.2.05 其它、设置ILK false闪烁 27、reset recipe新建recipe，ui不显示测试未还原问题，待确认 29、先改了mfc/temp外面的数，然后点开detail，啥也没动，目前只有一个改动标记，Close时默认不修改，所有还原之前修改，点击OK按钮 30、manualset界面，在gas pattern里设定mfc值，外面没有变色 已修改待确认 31、mfc detail序号问题 32、recipe,export后，excel表打开时间格式有问题 35、导出非空的sub/alarm/abort/idle/reset recipe,报错 36、点loader,没有提示框 2024-7-17 version 0.0.2.04 1.更新SiBCN的IO 2.D13360不下发数值 Bug 序号和问题 9、mfc/aux的小数位数逻辑错误，没有限制只能输入三位小数 10、temp要限制输入小数点后一位 13、process/sub/alarm/abort/idle/reset recipe的AUX编辑，修改后标黄了，点了save之后，刚才修改的未生效，不能follow 19、manualset界面的gas pattern可以实施显示mfc的值，gaspatternUI的monitor不能实时显示mfc的值 25、edit recipe,最后description的内容填写了保存不上 2024-7-15 version 0.0.2.03 1.下LoadProcessUnload job，报 未处理的WCF操作异常 的问题 2.AUX的alarm higher和alarm lower写到对应ao 3.AUX status显示当前SV的反馈值 4.Heater的ramp rate，up rate和down rate需要同时赋值 bug 8、step time 的step skip和step wait不能保存 19、除了job recipe，其他recipe修改保存 data time都没有更新 21、recipe编辑，gas的两个按键打开后，不点亮 24、修改recipe,description的内容保存不上 2024-7-11 version 0.0.2.02 1、Bug 1 recipe编辑gas pattern界面八个按键修改，gas标签不会变色的问题 2、Bug 3 gas pattern编辑mfc，外面的mfc不会变色，导致下面的step不会follow 3、Bug 10 点击change property job 信息全部清空了 4、Bug 11 recipe编辑gas pattern PREV next按键靠左机台硬件靠左不方便编辑 5、Bug 15 修改table2/table3的-table name应该是键盘是字母键盘 2024-7-10 version 0.0.2.01 1.增加FOUP机械手在TP模式的warning 2.更新AUX gaslineHeate的重命名。涉及到_sc.data需要更新 3.更新Gas Line Heater Memory Change D13360的设定 4.boat rotate保存异常 2024-7-8 version 0.0.2.00 1、MFC设置会误触Valve 2、recipe的step选择卡顿 3、recipe time格式修改 4、ProcessHistory选择空值异常 2024-7-8 version 0.0.1.99 1.去除AV60的开发warning 2024-7-8 version 0.0.1.98 1、RecipeGasPanel 控件修改位置 2、download upload加一下yes/no确定执行还是不执行，GridView去掉行选择光标 3、Sub recipe 的follow问题 4、MFC保存后 isSaved读取问题 5、Config增加AUX设置使能，并读取和写入到AO 6.Maintain->Boat页面，Rotation direction方向关联 7.HTR2去除关联49--52的地址 8.buffer status状态还是在move状态。需要改为点了stop状态变为idle 2024-7-3 version 0.0.1.96 1、manualset这个线歪了 2、manualset设定mfc点了cancel还可以保存 3、27往左移一点，没有居中 4、BWR、DPR、HTR1、HTR2、HTR3这些按钮follow 5、htr1的每个单独的加热带使能逻辑发1给去掉，只用发heater all enable 2024-7-1 version 0.0.1.95 1、valve follow 完善 2、MFC Canel 取消异常 3、MFC 单个设置 2024-6-28 version 0.0.1.94 recipe编辑pattern界面几个htr1/2/3按键 2024-6-27 version 0.0.1.93 1.Maintain-》boat页面更新Shutter的开关和状态显示 2.gaspanel，和recipegsapanl修改valve控件大小，调整页面。 2024-6-24 version 0.0.1.92 1.step time显示1位小数 2.显示Total Time 3.HTR1按键使能地址更换 2024-6-20 version 0.0.1.91 1.更新SiBCN AV230 2.增加D8384和D8386的报警 3.alarm table不能follow 4.recipe mfc值修改不了 5.step time显示两位s 2024-6-19 version 0.0.1.90 1.更新Heater的SV 2024-6-18 version 0.0.1.89 1.N2Purge页面MFM57的设定问题 2.recipe step time最大设定59，目前可以设99需要优化 3.detail里面设定mfc，会变黄但是下面的step不会follow 4.外面mfc设定，detail不会显示set值 5.temp在 detail修改，外面temp不会显示变黄，下面step不会follow 2024-6-17 version 0.0.1.88 1.更新Heater的SV 2024-6-13 version 0.0.1.87 1.maintain-》Boat页面手动移动Position1,2更新 2.recipe name修改不支持光标定位 3.M按键不能弹出选择框 增加了字典判断和异常打印 4.AV41误触问题 增加光标强制（0，0）位置 5.增加AV 60的do 2024-6-12 version 0.0.1.86 1.recipe执行失败的原因更新 2.manual set页面更新温度的correct table 3.status页面压力根据AV75开关显示小数点切换 4.N2 purge页面MFC 51流量设定不了的问题 5.foup机械手swap功能改为transfer 6.maintain-》Boat页面改为Position1,2,3 2024-6-11 version 0.0.1.85 1.更新ELK IO 2.更新N2Purge页面AV65，AV66的显示 3.gasPanel点击误触AV41页面光标强制置0，避免误触 2024-6-6 version 0.0.1.84 1.回退boat 位置的修改 2.insert deletestep光标定位当前页 3.manual模式设定mfc值要保存 2024-6-5 version 0.0.1.83 1.htr按键判断开关逻辑,只要设定开就亮，不管使能有没有接收到.重启后保留重启前设定 2.GasPanel MFC数值不刷新问题 2024-6-4 version 0.0.1.82 1.161-200在PARAMETER的STEP NAME保存不了，导致recipe调用不了的问题 2.folder下recipe展示打开状态 3.folder路径去掉 2024-6-3 version 0.0.1.81 1.弹出recipe description name的全键盘编辑内容保留输入不清除 2、Recipe Edit的Step滚动条，选择内容不刷新 2024-5-31 version 0.0.1.80 1.recipe操作功能bug调整 2024-5-30 version 0.0.1.79 1.recipe Step进度条调整 2.sibcn气路图同步调整 3.data history查看支持拉宽 2024-5-29 version 0.0.1.78 1.增加加热带的数据订阅 2.增加伺服的alarm，warning报警 2024-5-28 version 0.0.1.77 1.Wait Time累计到hold time上 并返回展示/recipe结束仍展示 H问题 2.button/Radiobutton/TreeView /ListBox控件去除IsMouseOver属性 2024-5-27 version 0.0.1.76 1.显示W的时候，把Hold Timme的描述替换为Wait Time。同时Wait Time的计时器开始计时 2.机械手的alarm clear，只有在出错之后才发 3.菜单按钮光标调整 4.mfc显示保留小数点后三位 5.气路图 minitor状态 不会刷新ai值问题 2024-5-24 version 0.0.1.75 1.aux/waferRobot指令页面/recipe combination 弹窗点击2次问题 2.status->Transfer Main 页面 机械手需要点击2次关闭问题 2024-5-22 version 0.0.1.74 1.光标定位问题 2.process log 导出空行显示问题 2024-5-21 version 0.0.1.73 1.Main界面点击正在执行recipe光标要定位在当前执行的step上面 2.recipe编辑那一块黄颜色去掉/管道和阀调整 3.recipe编辑htr123改为点一下就开启，点一下就关闭 4.recipe操作 定位问题 2024-5-20 version 0.0.1.72 1.mfc仅 recipe编辑的recipe模式下 setpoint > 0 时 颜色展示 2.机械手 home的时候 启用速度设定 3.aux 配置调整 4.aux 设定光标问题 5.气路图调整 6.ManualSet MFC 颜色改变问题 7.recipe+ HTR1/2/3设定问题;htr3初始值问题 8.新建一个recipe AUX什么也不设置，执行recipe显示set为0 9.更新HTR1,2,3的recipe设定 2024-5-14 version 0.0.1.71 1.更新AUX的显示 2024-5-13 version 0.0.1.70 1.ManualSetViewModel模块的mfc set后再生效 2.手动模式下 添加aux Set 数据 3.process时设定aux 4.无法删除recipe问题 5.foup颜色逻辑优化 6.Elk io 4.0更新 2024-5-11 version 0.0.1.69 1.菜单栏UI/sibcn气路图UI/MFC UI调整 2.预设MFC值 实时展示 2024-5-10 version 0.0.1.68 1.预约job 第二个job开始的时候 tubeStatus展示process 2.添加position的 页面+上传/下载指令 3.颜色统一及其bug修改 4.添加RSTP/SABS指令 及其操作页面 5.Alarm condition 修改样式增加高度 6.参数分类细化 7.非Idle状态的P/M1/M2 foup 展示为绿色 2024-5-6 version 0.0.1.67 1.newRecipe/RenameRecipe 名称重复问题 2.recipe edit 下边按钮逻辑调整 3.runToRun次数展示 4.waferRobot 参数下发功能 5.颜色统一 6.Sibcn 管道图调整 7.waferRobot功能键添加弹窗确认/只有wt 位于idle状态下 可以进行功能操作 8.添加RunToRun 功能及其配置 9.优化ct展示效果 10.下job的时候检查process和layout是否存在 11.Sibcn和ELK 的ilk调整 12.涉及到mfc和阀的页面及其功能调整 13.config隐藏Step Name/Interlock Name/Name Parameter 14.recipe执行，报 索引超出范围。必须为非负值并小于集合大小 15.stocker wafers 类型不一致不允许创建问题 none可以任意创建 16.第一个job没有结束，过程中可以继续使用这个M/P foup前提是要满足下面的layout。job结束之后，M/P不能继续用 17.下拉条换成按钮 2024-4-24 version 0.0.1.66 1.Boat添加 2.AlarmEventDefine 文件添加对应类型配置 3.sibcn 0.3/0.4 version 更新 4.DEPO/F2/HF/按键及其信号灯 更新 5.Recipe 执行时 名称及其时间错误问题 7.process history导出附加sub recipe信息 8.ELk 0.1/0.2 version io 更新 文件添加对应类型配置 9.ui界面去除 ct的 Blade1 选项 10.recipe 操作按钮bug调整 11.boat优化 2024-4-17 version 0.0.1.65 1.调整recipe 比较页面 2.recipe中alarm condition选择慢 3.recipe step选择了leak check，step时间比leak check时间长的时候的问题 4.SiBCN气路图更新 5.更新alarm recipe的保存 2024-4-15 version 0.0.1.64 1.AlarmCondition编辑页面Copy时候数据不刷新 2.去除Alarmtable和Maintain-》GasPanel页面 3.两个cj，前一个end call sub执行时间很长，导致第二个job的wafer charge之后，第一个job 结束了不执行第二个job的process 4.sub recipe执行显示问题 2024-4-11 version 0.0.1.63 1.更新leak check alarm 2.process在wait的时候，点了abort还显示wait状态的问题 3.两个cj，前面一个cj end时间长，导致wafer Discharge结束end步骤还没执行完时，第二个job开始失败的问题 4.M2不会开始job的问题 5.SiBCN io更新 6.更新ELK io 7.正在wait捡漏，手动跳步到end。还在执行上一步的wait 2024-4-10 version 0.0.1.62 1.process recipe的command选择了leak check之后，关闭再点开不会显示原来的选择 2.parameter->Leak Check 编辑更新 3.Status->Pressure Leak Check 展示 4.Status->Temp 禁止输入 5.SIBCN管道更新 6.更新leak check功能 2024-4-3 version 0.0.1.61 1.A，B Batch，B是空的layout，会先cooling再开始process的问题 2.alarm condition 切换table慢的问题 3.process log导出优化 2024-3-30 version 0.0.1.60 1.new process recipe 自动生成end 2.没有material 进行B batch standby，有 material 等A batch discharge完，并切CJOB结束才开始进行B batch 3.工艺完成，M先Discharge结束回到stocker，可以先unload 2024-3-29 version 0.0.1.59 1.alarm condition增加table拷贝功能 2.添加process list导出 3.Parameter->Parameter页面，只保留StepName和TempSetting，删除不需要的设定 4.主recipe执行完倒数第二步，就认为recipe执行结束，可以开始cooling，同时tube做最后一步的step 5.生成exe，原来的首选项是生成32位的，去除这个勾选 2024-3-27 version 0.0.1.58 1.Process log导出优化，增加最大行数的配置项 2.ELK气路图更新 2024-3-26 version 0.0.1.57 1.aux 序号>=68的要求不报警 2.NTP气路图更新 3.更新Dummy不需要discharge的配置 2024-3-25 version 0.0.1.56 1.interlock根据excel要求，满足时间才报警 2.更新alarm condition中的Interlock相关报警 3.更新ELK IO 4.jump step之后，还需要能够call sub 2024-3-23 version 0.0.1.55 1.alarm condition MFC不报警的问题 2024-3-22 version 0.0.1.54 1.recipe页面滚动条样式 2.recipe选择alarm condition打开慢 3.discharge时foup机械手取到foup会停一会才放 2024-3-21 version 0.0.1.53 1.机械手出错之后，home报is in Resetting state，can not do StartHome 的问题 2.AUX在空闲的时候也需要报警 3.小键盘更新 4.更新ELK IO 2024-3-20 version 0.0.1.52 1.广川机械手home，软件报超时的问题 2.小键盘弹出的问题 2024-3-19 version 0.0.1.51 1.ELK IO点位更新 2.manualSet Pressure设定值不展示问题 3.recipe append 不显示temp名称问题 4.unload monitor foup报错的问题 5.重复的alarm自动更新最新的时间 6.valve开关，interlock不满足只报警，不复位 7.status页面AV71状态绑定还原回原来的 8.return wafer，取5片的逻辑更新 9.recipe编辑gaspattern提示空对象，进行判断 10.小键盘去掉鼠标点击事件 2024-3-18 version 0.0.1.50 1.ProfileTemp无法设置负值，默认范围 Min="0" Max="700"，目前修改为 Min="-999.9" Max="999.9" 2.ProfileTCCalib无法设置，属性缺了UpdateSourceTrigger=PropertyChanged 3.RecipeCommand step loop数量无法设置LoopCount绑定设置添加Mode=TwoWay, UpdateSourceTrigger=PropertyChanged 2024-3-16 version 0.0.1.49 1.jump 不了后面执行过的step，只能jump前面没有执行的step 2.更新小键盘样式 3.更新Process history中APC sensor1，sensor2名称，增加VG11，VG12导出 2024-3-15 version 0.0.1.48 1.软键盘输入优化 2.加热带table预设功能 3.AUX修改了不需要重启 4.AUX的F2 cln，HF cln软件重启之后，保持和关机前状态一致 5.temp CU和CL显示一样的问题 2024-3-14 version 0.0.1.47 1.Sub recipe为空问题 2.小键盘弹出问题 3.TempCorrection recipe模式下不可save问题 4.alarm 添加clearAll 5.heater 页面cu跟cl的actual值一样 2024-3-13 version 0.0.1.46 1.Process log导出问题 2.alarm condition jump step的问题 3.执行完recipe，APC的PID表选择信息能够保存 4.alarm condition中，AUX名称的显示要根据config 5.alarm condition调用reset，alarm，abort等之后，在status页面点recipe浏览弹窗报错 6.temp correct选择的文件不存在引起的报错 7.小键盘弹出问题 8.执行sub recipe报错问题 2024-3-12 version 0.0.1.45 1.增加aux和apc的alarm condition判断 2.AUX设定修改不了的问题 3.Recipe alarm select 回显问题 4.AUX AO问题 2024-3-11 version 0.0.1.44 1.clear alarm log导致RT断掉 2.AV71开阀逻辑不符 3.Config中，System-》recipe节点下，几个默认recipe的选择，改了之后只有重启软件才能更新 4.alarm condition增加MFC项 5.alarm condition，只有设定时间大于0才会监控 2024-3-8 version 0.0.1.43 1.auto transfer过程能下发manual指令 2.boat move 没有alarm提示----R轴旋转不需要检查；Start函数中的检查条件需要去除shutter open的检查 3.alarm condition的call abort，alarm recipe的问题 4.recipe比较速度慢的问题 2024-3-7 version 0.0.1.42 1.alarm condition的设定时间等不能保存的问题 2.alarm condition的执行问题 3.step name编辑，弹出键盘反应慢的问题 2024-3-6 version 0.0.1.41 1.Change Property问题调整 2.boat move 移动前先检查条件是否满足 3.ManualSet中Correct 设置了default 文件仍然弹窗提示问题 4.数字键盘/全键盘弹出问题 5.alarm condition设置时间为0不跳到end的问题 2024-3-6 version 0.0.1.40 1.recipe 新增最近十次修改历史查看功能 2.ManualSet中Correct 设置了default 文件仍然弹窗提示问题 3.Recipe Except 导出内容不正确问题 4.Boat Move alarm 问题调整 5.光标定位问题 6.alarm show不合理问题 7.增加alarm Condition的执行log 2024-3-5 version 0.0.1.39 1.Alarm Condition 文本框上下限问题；Error弹窗错误问题； 2.ManualSetViewModel页面Mode/Correct/PID的save按钮手动模式下可点击 3.Process log导出去除没有的点位:ValveAV62; BWR,DPR导出的名称更新 4.temp set功能改善 5.loadport类型不能支持配置 6.数据框点击有效范围较小 7.Gas 的MFC 数字键盘弹出不对问题 2024-3-3 version 0.0.1.38 1.增加APC mode ao的数据订阅 2024-3-2 version 0.0.1.37 1.更新heater的alarm condition 2024-3-1 version 0.0.1.36 1.手动情况下，AV71 open，APC可以设定角度，压力，slow vac等其他模式；AV71 close，则apc close 2.更新alarm condition中error command选择不能保存的问题 2024-2-29 version 0.0.1.35 1.更新alarm condition保存文件的拼写错误 2.APC PID的table name输入不了字母的问题 3.更新机械手RSTS的指令，wafer robot和foup robot不一样 2024-2-28 version 0.0.1.34 1.修改bug 17,34 2.更新机械手RSTS的指令 2024-2-27 version 0.0.1.33 1.增加D328.0---328.15的数据订阅 2.Bug序号33：manual操作av71阀关闭，对应press也要发full close mode 3.Bug序号28：有关pump的DP和MBP地址公用一个地址，DP打开发D1084.1，MBP也跟着DP显示亮。关DPD103.7，MBP跟着关（MBP不可控制） 4.气路图Monitor时，下面一排按键也不能点 5.调整APCPID /LeakCheckCondition/TempProfile 文本框MAX 6.manual set-》gas panel，pump等几个按键的设定问题 2024-2-23 version 0.0.1.32 1:问题50：编辑Temp PID table/Temp AutoPID table输入值大于10，就会导致输入不了 2.设定fims2为offline，fims1的online&offline按键都会变灰. 3.FIMS的online、offline重启软件保留上一次设定的状态 4.Maunal set-》gas panel页面设定问题 5.PM的状态机从原来的5ms---》改为1ms 2024-2-21 version 0.0.1.31 1.abort不了robot状态的问题 2.AV91联动DI点位 （仅限仿真） 3.第二个wait的job，start time改为显示“”------“” 2024-2-19 version 0.0.1.30 1.Valve 60,74,77的状态改为绑定D341.0，D341.1，D341.2 2.Job Recipe重命名文件丢失问题 3.WaitingMaterial最小值展示问题 4.Recipe编辑中temperature选择table按键切换失效问题 5.Recipe增加RHC的控制 2024-2-18 version 0.0.1.29 1.选empty layout时，在discharge的时候会卡住的问题 2.Cjob abort只能abort当前的job，无法对后面预约的job进行操作的问题 3.Parameter-》TempSetting增加AllZone的设定 2024-2-7 version 0.0.1.28 1.增加job预下功能 2.recipe中温度增加table设定 2024-2-6 version 0.0.1.27 1.PM状态机的时间间隔改为5ms，原来是50ms 2.写PLC的AO块的长度改为450，原来是100 2024-2-5 version 0.0.1.26 1.有关pump的DP和MBP地址公用一个地址，DP打开发D1084.1，MBP也跟着DP显示亮。关DPD103.7，MBP跟着关（MBP不可控制） 2.AUX三个table逻辑只写了一个，需要添加两个虚拟按键F2 cln HF cln 3.gas panel DPR按键不对的问题 4.Process Log导出项的名称更新，改为和显示一致 2024-2-4 version 0.0.1.25 1.优化recipe step的执行时间 2.仿真机械手报stop状态的问题 2024-2-3 version 0.0.1.24 1.AV60,74,77加上边框以示区别 2.Process Log页面导出功能修改 3.更新仿真 2024-2-2 version 0.0.1.23 1.Parameter-》step name编辑页面卡顿优化 2.manualSet点开Pattern之后，阀门和流量计的设定完成，切换为manualSet页面，点Set需要一次性写到RT 3.Carrier Robot的pick，place的超时按照config设定 4.更新仿真 2024-2-1 version 0.0.1.22 1.Process Log中的Heater working output改为Power output 2.优化Process Log-》Process Detail页面选择数据卡顿的问题 3.Recipe LOOP的count，设定几次就显示几次 4.Mini8的设定值，只有变化了才写 2024-1-30 version 0.0.1.21 1.更新Mini8 Ao的写 2024-1-29 version 0.0.1.20 1.Recipe编辑去除MFC51 2.切换别的recipe，也显示主recipe的问题 3.更新AO写的问题 4.更新process log导出问题 5.Boat elevator，只有D5660=D10110，才会发D1142.0的脉冲 6.recipe执行过程有alarm，只是抛出，不影响工艺 7.Maintain->Boat 页面去除elevator的servo on/off按键，删除rotate的速度设定和显示 2024-1-28 version 0.0.1.19 1.Process Log导出问题修改 2.PLC的AO、DO写优化：原来是每个点上位机修改了才写到PLC=》改为按照块，一直写AO、DO，不管上位机有没有修改（注意此项修改，需要PLC那边确认是否会影响） 3.优化recipe执行的时间：原来仿真200ms写完step所有参数=》优化后5ms内执行完step所有参数 4.优化RT线程数量，去除不必要的线程 5.GasPanel DPR和BWR按键显示问题 6.Boat增加from to创建和delete wafer 7.更新IO版本45,46 8.修改Modbus TCP通讯的报错 9.Mini8 AO、DO写优化：原来是每个点上位机修改了才写到Mini8=》改为按照块，一直写AO、DO，不管上位机有没有修改（注意此项修改，需要测试下设定温度和enable是否正常） 2024-1-26 version 0.0.1.18 1.机械手报警之后，通讯log不打的问题 2.Process Log的Pressure增加VG13，VG21，VG22 3.AV71阀门开关的warning提示问题 4.Process log导出数据异常的问题 5.阀门开关显示字体更新 6.机械手home的时候，不用发reset error 2024-1-24 version 0.0.1.17 1.aux保留小数调整 2.Log下拉框调整为Alarm 3.temperature correct file is empty不报warning 4.BWR,DPR,HTR1,HTR2按键功能bug修改 2024-1-23 version 0.0.1.16 1.广川机械手CSTP指令改为不发送，由机械手自行终止 2.广川CCLR改为INIT,1,1,N 3.广川出错之后查询错误码，显示出来 4.Top View的log下拉框只显示warning和alarm 5.data history和data charting页面打开慢的问题 2024-1-19 version 0.0.1.15 1.recipe读取速度继续优化 2.更新Process log 3.Jump step选择的是call sub的main step时，结束sub，直接执行main step 2024-1-17 version 0.0.1.14 1.Wait press，不把Slow vacuum rate清零 2.Manual Set页面，save按键点不了的问题 3.Status-》main，点击recipe，recipe打开慢的问题 4.recipe编辑页面，打开recipe慢的问题 5.recipe导出异常的问题 6.Jump step逻辑更新，可以跳到任意的main recipe的step；如果跳到的step有call sub，先执行sub，sub执行结束再执行住recipe step； 如果当前在执行sub recipe，jump到主recipe的step，可以结束当前的sub执行，跳到主recipe的step 2024-1-16 version 0.0.1.13 1.阀门av60/74/77只能查看，不能设定 2.Boat旋转速度更新 3.recipe有个别插入StepNo不正确 4.config为空的问题 5.aux页面卡顿优化 6.aux状态显示页面，通过点击status-》Main-》MFC之后弹出显示 7.更新压力单位根据config显示 8.recipe过程中，aux的设定值，不写到对应的ao 9.压力的单位，根据设定更新到1240.5，config为torr的时候，设定false；为pa的时候，设定true 10.更新加热带heater enable的显示 2024-1-15 version 0.0.1.12 1.sub recipe的table copy功能 2.aux 页面切换卡顿的问题 3.aux页面打开报错的问题 4.aux的温度设定，设定到对应的ao 5.删除不需要的gasline heater点位 6.更新boat旋转速度设定（按照40个点设定） 2024-1-14 version 0.0.1.11 1.更新charge，discharge流程 2.修改boat上wafer显示slot顺序不对的问题 2024-1-13 version 0.0.1.10 1.boat上下运动判断shutter为开和D340.15为true，否则报警 2.auto shutter运动的超时根据config设置，Boat-》AutoShutter-》MotionTimeout 3.boat运动的时候，先开shutter，在判断interlock 4.更新IO版本44 2024-1-12 version 0.0.1.9 1.去除temp pid和correct为空的报警 2.缩小阀门在recipe执行中占有的时间 3.recipe执行过程中shutter的开关超时改为30s 4.点击Transfer Main页面-》Init-》Abort（All Initialize那一行的），可以从AutoRunning-》Idle，从AutoIdle-》Idle 5.AUX更新压力等显示 6.IO monitor页面显示不全的问题 7.Recipe编辑过程中阀门状态不对的问题 8.更新APC wait press功能------注意，recipe要打开重新保存，如果有wait Press的步骤要重新设置 9.更新IO版本42,43 10.修改process过程中的APC设置异常 11.增加process过程中的wait信息log 12.boat的manual set功能 13.download apc config写D1240.8,脉冲信号3s 14.设定APC黄色区域，增加写D1240.10,脉冲信号3s 15.增加Status-》Pressure-》press页面Command Set和PID table的显示 16.manual set页面不读ai更新 2024-1-11 version 0.0.1.8 1.ManualSet页面更新，去除当前值显示 2.valve interlock去除 3.discharge，boat home的过程中，cool complete一直打的问题 4.当你 command选择 wait press down时，是给D13012这个地址发送的值，这个需要在step切换之后，假如command有切换，需要reset to 0 5.wait pressure up是大于等于，down是小于等于 6.MFC，温度的manual set界面设定值根据上次关机前的设定值 2024-1-10 version 0.0.1.7 1.Status-》Main页面，FIMS上的wafer数量显示为0 2.增加data log中加热带的enable信号 3.process在循环中点skip，结束循环有异常的问题 4.气路图不启动 5.去除boat rotate之后的stop 6.更新IO版本40,41 7.更新APC Config页面 8.recipe的rotate速度设定小数 2024-1-9 version 0.0.1.6 1.wait pressure up/down 关联D13012地址 2.LOOP和Jump改为根据step名称跳转 3.LOOP信息显示 4.Status-》Main页面，FIMS上的wafer数量显示为0 5.Recipe command中Loop和Jump step保存和显示删去原来的step序号 6.Gas页面，manual，monitor，recipe的切换显示功能 7.VG21点位不对问题 2024-1-8 version 0.0.1.5 1.更新return wafer的顺序 2.更新None stocker类型的使用 3.增加M1，M2的charge 4.discharging之后，carrier robot取了foup，停顿了20s才开始执行放动作 5.AV71关闭，则APC full close；AV71 open，则执行APC的command 6.更新boat Rotate速度设定 7.recipe的wait Limit后面加上（+），（-） 8.更新VAC1,2,3的IO及其显示 2024-1-6 version 0.0.1.4 1.process也有一个问题，就是做完工艺discharge的时候，会重复循环。 2.job ->load,unload,process选择stocker，数字的显示问题 3.加上temp correct table中flat zone的值 4.recipe重命名保存文件step清空问题 5.增加VAC1,2,3状态显示 6.温度界面显示更新，act值需要pv-profile值 7.更新了stocker none的设置 2024-1-5 version 0.0.1.3 1.更新foreline heater和gasline heater的数据显示 2.MFC设定问题 3.RecipeView页面初始化加载卡顿 2024-1-4 version 0.0.1.2 1.更新foreline heater和gasline heater的数据显示 2.mfc不能设置流量问题 2024-1-3 version 0.0.1.1 1.sub Recipe第一步选择，按钮可用状态修改 2.Stocker禁用和序号对应问题 3.Stocker灰色图片展示问题 4.FIMS cycle 测试的临时版本 2024-1-2 version 0.0.1.0 1.39,40版本IO更新 2.去除不需要的stocker 19,20,21的设定 3.Job->Load carrierID重复显示的问题 4.Proflile结果计算改为HeaterPV-CascadePV，只保留一个小数点 2023-12-30 version 0.0.0.99 1.profile页面Dev显示更新 2.profile页面Total Time,Preheat Time,Check Time显示更新 3.cj完成之后，wafer robot多次做home报waring的问题 4.Status-》main job显示信息更新 5.recipe剩余时间显示问题：remain time的倒计时有bug，2min9second流逝到2min0second后，又从2min59second开始计时 6.recipe中Profile选择问题更新（原来需要设定default才可以） 7.Load P时，选择第一个LP，第五个自动选上的问题 2023-12-29 version 0.0.0.98 1.不能Load M，ED，SD的问题 2.charge和discharge结束之后，wafer robot回到home位置 2023-12-28 version 0.0.0.97 1.更新温度的显示小数点位数 2.Temp PID的最大值限制更新为1000 3.step 时间设置秒带小数 4.heater导出数据精确到一位小数点 5.recipe description修改bug更新 6.return wafer时FIMS反复做load，unload修改 7.cooling的执行问题 8.recipe设定秒加上小数点 2023-12-27 version 0.0.0.96 1.return wafer时FIMS报wafer robot没缩回的interlock 2.sub recipe copy问题 3.气路图字体更新 4.recipe导出数据的顺序和绿色小框 5.recipe文件夹浏览页面卡顿的问题 6.recipe的OverWrite Copy and Prev. step overwrite功能有问题 7.Profile的Alarm limit设定小数 2023-12-26 version 0.0.0.95 1.CarrierID的自动读取 2.更新return wafer 3.autorunning，auto idle的情况，FIMS的load、unload不判断wafer机械手 4.增加FIMS的online offline 2023-12-25 version 0.0.0.94 1.增加LP3、4的CarrierID read 2.N2 Purge页面的手动操作阀门 3.Recipe中gas panel的阀门显示问题 4.recipe中apc pressure无法输入的问题 5.增加Mapping result的显示 6.增加Recipe执行Hold，Wait的显示 7.Recipe的MFC detail编辑页面，增加scale的显示 8.recipe(mfc/temp /press)各种PID Table设置值，软键盘弹出二十六键，不方便输入数字和标点符号 9.IO页面的滚动条增加 2023-12-24 version 0.0.0.93 1.Hold之后，显示hold住的那一步 2.增加MFC,Heter,APC,AUX的wait 3.recipe执行报temperature Profile file is empty 2023-12-23 version 0.0.0.92 1.更新heater和profile页面的显示 2.更新recipe的执行 2023-12-22 version 0.0.0.91 1.Status->Main显示调整 2.Recipe中去除MFC51，MFC57，AV54,AV56,AV57,AV58,AV59,AV63,AV64,AV65,AV66,AV67,AV68----注意，recipe需要打开重新save 3.gasPanel显示修复 4.temperature correct file is empty重复打印的问题 5.process recipe中增加aux的编辑 6.更新AUX的设定和显示（报警还没加） 2023-12-21 version 0.0.0.90 1.重做Temp页面 2.修复profile显示问题 3.gaspanel页面增加ManualMonitor控制 4.修改Apcpressure显示 5.修复SC重复注册问题 6.修改IO页面打开卡顿 7.更新heater的up、down rate下发和ramp的界面显示 8.增加recipe过程中的heater设定log，MFC设定log 9.增加AUX的设定界面 2023-12-19 version 0.0.0.89 1.更新auto profile执行逻辑 2.更新process recipe的导出功能 2023-12-18 version 0.0.0.88 1.更新Sub recipe的执行 2.更新IO 3.Unit按配置显示更新，Unit关联IO 4.MFC raming为零无法设置修复 5.禁用自动Logoff 6.pattern管路图更新 7.mainview页面弹窗改成二级页签 8.修复recipe无法delete问题 2023-12-17 version 0.0.0.87 1.除了process recipe，其他类型recipe去除Standby 2.增加recipe中Boat等待到位的功能，到位之后才执行下一步 3.更新Interlock的判断条件，原来是true，改为false 4.更新34,36版本IO 5.Manual set页面，heater状态值更新 6.增加MFC ramp time设定到PLC 7.Loop时，Next step显示不对的问题 8.更新Heater IO的名称 2023-12-14 version 0.0.0.86 1.更新recipe中command选择的显示 2.Gas Panel增加按键文字描述 3.更新profile功能 4.recipe循环过程中，点了abort，再次执行recipe，不循环的问题 5.更新33版本IO 2023-12-13 version 0.0.0.85 1.更新HTR1的gasline heater10 2.更新recipe Loop功能 3.更新不同类型recipe的command按键选项 2023-12-12 version 0.0.0.84 1.更新32版本IO 2.更新HTR1，HTR2按键逻辑 3.更新Recipe执行command中的jump功能 2023-12-10 version 0.0.0.83 1.更新recipe Hold逻辑，当前step执行完才hold 2.更新Jump step逻辑 3.recipe执行结束，增加选项可以不执行standby或者idle recipe 4.更新recipe执行中heater的up/down rate设定 2023-12-8 version 0.0.0.82 1.增加recipe的abort，skip，pause，release按键操作 2.去除阀门的一直报的warning 3.更新recipe abort 2023-12-7 version 0.0.0.81 1.修改GasPanel 2.修改阀门，管路，MFC，VGPart控件效果 3.增加Pump的AUCAGVBOTH选择 4.增加风机控制按键 2023-12-6 version 0.0.0.80 1.更新recipe编辑保存的问题 2.更新recipe执行 3.增加boat手动功能 4.gas背景更新 APC valve angel显示更改 阀门，MFC控件更新 Temp页面UPDownrate自由设置 manualsetsave确认 弹窗居中 2023-12-4 version 0.0.0.79 1.主页面apc显示更新 2.APC弹出页面显示更新 3.apc增加home按键 4.更新Boat的home，上升下降反复动+旋转一直转 2023-12-1 version 0.0.0.78 1.Heater 手动设置界面更新 2023-11-30 version 0.0.0.77 1.APC 手动设置界面更新 2.boat手动界面更新 2023-11-28 version 0.0.0.76 1.温度页面打开报错的问题 2.更新APC相关的IO 3.更新Boat cycle 测试 4.更新Boat E Axis Home按键 2023-11-21 version 0.0.0.75 1.更新27、28版本IO 2.修改不过141,142，147。问题146本来就是按照mapping结果来的 3.更新alarm condition 4.更新N2 Purge 2023-11-16 version 0.0.0.74 1.wafer robot 报not ready的问题 2023-11-15 version 0.0.0.73 1.修改bug 125 2.仿真机械手报RPOS超时问题 3.process recipe name的选择问题 2023-11-14 version 0.0.0.72 1.wafer robot cycle数量显示不对的问题 2.修改bug 111,114，115，134 3.process recipe step copy的bug 2023-11-11 version 0.0.0.71 1.更新IO 2.更新wafer robot cycle模式 2023-11-9 version 0.0.0.70 1.更新IO 2.更新Process Recipe选择SubRecipe，AbortRecipe时的显示 3.更新di相关的alarm报警 4.更新status点击Press的弹出页面（数据还未绑定） 2023-11-7 version 0.0.0.69 1.更新Interlock显示 2.更新Valve Open Close Interlock 3.更新SubRecipe，AlarmRecipe，AbortRecipe的编辑和选择 4.更新Io，对DI信号改为true的时候触发报警 5.Buffer的旋转到位增加di信号 2023-11-2 version 0.0.0.68 1.更新Automatic Valve interlock 2023-11-1 version 0.0.0.67 1.Not Install模块取放的报警 2.更新首页Gas及其弹出页面的数据绑定 3.Temperature Correction的编辑和保存 4.Process Recipe能够选择Temperature Correction文件，再选择相应的表 5.修改FOUP循环搬送的bug 2023-10-31 version 0.0.0.66 1.完善not install模块的取放foup报警 2.修改设置温度报警 3.更新1：N Carrier ID reader驱动 2023-10-30 version 0.0.0.65 1.修改bug 70,91,98,109,110,112,120 2.Temperature PID的编辑和保存 3.Process Recipe能够选择Temperature PID文件，再选择相应的表 4.Process Recipe，Loader选择None的bug 5.Load过程中执行报错的问题 2023-10-25 version 0.0.0.64 1.更新首页的UI配色 2.增加首页heater的温度显示 3.增加heater手动操作页面 4.增加RF ID的读取和显示 5.更新charge-》Discharge功能 2023-10-20 version 0.0.0.63 1.增加版本号显示 2.Boat 上升下降的到达信号，改用di判断 3.Process recipe-》Combination-》能够选择Sub Recipe和Alarm Recipe 2023-10-18 version 0.0.0.62 1.更新layout recipe boat wafer控件 2.在setup recipe时需要在此table内选择step name 2023-10-14 version 0.0.0.61 1.增加Boat 测试 2023-10-11 version 0.0.0.60 1.增加DO修改的log 2023-07-9 version 0.0.0.4 1.机械手协议改为UDP 2.增加LP3，Lp4 3.更新机械手的报错机制 2023-07-8 version 0.0.0.3 1.CPU占用率高的问题 2.Main页面切换切换到stocker（有些按键改好了） 2023-06-24 version 0.0.0.2 1.更新transfer job、auto transfer 2023-03-01 version 0.0.0.1 1.修改bug 2023-03-01 version 0.0.0.65 1.Alram、Sub、AbortRecipe增加Table功能